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17 Tipps und Tricks 17.1 Z-Achse Die-Ejector im ausgeschalteten und ausgebauten SWS nach unten bewegen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 477 17 Tipps und Tricks 17.1 Z-Achse Die-Ejector im ausgeschaltet…
16 Software
16.4 Wiederherstellung alter Softwareversionen (GUI)
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17 Tipps und Tricks
17.1 Z-Achse Die-Ejector im ausgeschalteten und ausgebauten SWS nach unten bewegen
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17 Tipps und Tricks
17.1 Z-Achse Die-Ejector im ausgeschalteten und
ausgebauten SWS nach unten bewegen
Falls nach Ausschalten und Ausbau des SWS die Z-Achse des Die-Ejectors noch in der Top-Posi-
tion ist, kann man diese Achse wie folgt in die Down-Position bringen:
Abb.738:
1. Die-Ejector in Top Position
2. Grundplatte
3. Pneumatikanschluss Die-Ejector
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17.1 Z-Achse Die-Ejector im ausgeschalteten und ausgebauten SWS nach unten bewegen
478 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Vorgehensweise Absenken
Abb.739:
► Suchen Sie an der Pneumatik-Einheit des Die-Ejetors (3) nach dem Schlauch "Zuleitung Hub-
zylinder" (4).