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5 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Inhaltsverzeichnis 6.3 Einstellungen .. 117 6.3.1 Druckluftwächter einstellen .. 117 6.3.2 Anschlussspannungen am Netztransformator herstellen .. 117 7 Die-Ejec…
4 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Inhaltsverzeichnis
3.2.3 Die-Erkennung und Die-Positionierung.. 50
3.2.4 Ausstechvorgang.. 51
3.2.5 Pickup-Prozess.. 51
3.2.6 Embedded Wafer-Level-Ballgrid-Array (eWLB/WLFO) Prozess.. 52
3.3 Pick und Transferprozess im Detail.. 53
3.3.1 Flip Chip Segment 1 (Pipette).. 53
3.3.2 Flip Chip Segment 1 (Z-Richtung).. 54
3.3.3 Die-Attach – Transferposition.. 55
3.3.4 Flip-Chip-codierte Positionen (nach dem Kalibrieren).. 56
4 Einbau und Ausbau des SWS in eine SIPLACE CA-Maschine.. 59
4.1 SWS ausbauen.. 59
4.2 SWS einbauen.. 62
4.3 Magazinlift aufschwenken.. 65
5 Grundrahmen – X/Y-Unit.. 67
5.1 Funktionsbeschreibung.. 67
5.2 Übersicht Gesamtaufbau.. 67
5.2.1 Aufbau und Ersatzteile – Grundrahmen [00386774-xx] (Beispiel SWS 1/3).. 68
5.2.2 Aufbau und Ersatzteile – X/Y-Unit [00386776-xx] (Beispiel SWS 1/3).. 69
5.2.3 Überblick Sensoren.. 70
5.3 Teiletausch.. 72
5.3.1 Tausch Y-Motor mit Kupplung.. 72
5.3.1.1 Demontage Y-Motor mit Kupplung.. 73
5.3.1.2 Demontage Y-Motor (Alternative, ohne Kupplung).. 78
5.3.1.3 Montage Y-Motor und Kupplung.. 79
5.3.1.4 Notwendige Kalibrierung nach Y-Motorentausch.. 84
5.3.2 Tausch X-Motor.. 84
5.3.2.1 Demontage X-Motor und Kupplung.. 84
5.3.2.2 Einbau neuer X-Motor und Kupplung.. 90
5.3.3 Tausch Sensoren Y-Achse.. 99
5.3.3.1 Näherungsschalter überprüfen.. 100
5.3.4 Tausch Sensoren X-Achse.. 101
5.3.4.1 Näherungsschalter überprüfen.. 102
5.3.5 Tausche Gabellichtschranken Homeposition HO1 und HO2.. 102
5.3.6 Tausch Motorplatine Y-Achse.. 104
5.3.7 Tausch Motorplatine X-Achse.. 105
5.3.8 Feinsicherung F1 auf Adapter-Platine Wafertisch AD-WT Rev.0 [00379046-xx].. 105
6 Versorgungseinheit.. 107
6.1 Übersicht der Ersatzteile.. 107
6.2 Ersatzteile tauschen.. 111
6.2.1 Vorbereitende Tätigkeiten.. 111
6.2.1.1 Magazinlift aufschwenken.. 111
6.2.1.2 Magazinlift schließen.. 112
6.2.1.3 Versorgungseinheit herausziehen.. 112
6.2.1.4 Versorgungseinheit einschieben.. 113
6.2.2 BoxPC tauschen.. 113
6.2.3 Vakuumpumpe tauschen.. 114
6.2.4 Galil-Motor-Karte AMP-19540 oder AMP-19520 tauschen.. 115
6.2.5 Netztransformator tauschen.. 116
5Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Inhaltsverzeichnis
6.3 Einstellungen.. 117
6.3.1 Druckluftwächter einstellen.. 117
6.3.2 Anschlussspannungen am Netztransformator herstellen.. 117
7 Die-Ejector.. 121
7.1 Übersicht der Hauptbaugruppen.. 121
7.2 Übersicht der Ersatzteile.. 122
7.3 Ersatzteile tauschen.. 123
7.3.1 Vorbereitende Tätigkeiten.. 123
7.3.2 Ausbau der kompletten Die-Ejector-Unit aus dem SWS.. 125
7.3.3 Ausbau Z-Achse am Die-Ejector.. 131
7.3.4 Einbau Z-Achse am Die-Ejector.. 137
7.3.5 Einbau der kompletten Die-Ejector-Unit in den SWS.. 144
7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position.. 148
7.4.1 Ziel der mechanischen Justage der Nadelposition in X/Y-Richtung.. 149
7.4.1.1 Erklärung des Koordinatensystems.. 149
7.4.1.2 Vorbereitende Tätigkeiten.. 150
7.4.2 Justage der Nadel in X/Y-Position.. 153
7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus).. 157
7.5.1 Nadeln des Nadel-Ausstechsystems tauschen.. 157
7.5.1.1 Vorbereitende Tätigkeiten.. 157
7.5.1.2 Nadeln einstellen mit Kalibriernormal [03098221-xx] (für Die Ejector, magnetisch).. 159
7.5.1.3 Nadeln einstellen mit Kalibriernormal [03080191-xx].. 160
7.5.1.4 Nadel-Ausstecheinheit auf Dichtheit prüfen.. 161
7.5.1.5 Austausch der Dichtungseinheit und des O-Ringes an der Zentriereinheit des Die-Ejectors.. 163
7.5.2 Magnetventil für das Vakuum am Die-Ejector tauschen.. 166
7.5.3 Magnetventil für das Hoch- und Runterfahren der Z-Achse.. 166
7.5.3.1 Näherungsschalter tauschen.. 167
7.5.4 Gabellichtschranke am Ausstechsystem tauschen.. 168
7.6 Umbau Nadel-Ausstecheinheit Bajonett (alte Version) auf Nadel-Ausstecheinheit
Magnetisch (aktuelle Version)..
168
7.6.1 Vorbereitende Maßnahmen.. 169
7.6.2 Ausbau Nadel-Ausstecheinheit Bajonett.. 169
7.6.3 Montage der Nadel-Ausstecheinheit Magnetisch.. 172
8 Flip-Unit.. 175
8.1 Übersicht der Hauptbaugruppen.. 175
8.2 Übersicht der Ersatzteile.. 176
8.3 Ersatzteile tauschen.. 179
8.3.1 Flip-Unit tauschen.. 179
8.3.1.1 Home-Position von Segment 1 kalibrieren.. 179
8.3.1.2 Hohlwellenmotor kalibrieren.. 180
8.3.2 Saugteller tauschen.. 180
8.3.3 Pneumatische Rückholeinheit tauschen.. 180
8.3.4 Waferkamera an Flip-Unit ausbauen.. 181
8.3.4.1 Platine für Hellfeldbeleuchtung tauschen.. 182
8.3.4.2 Platine für Dunkelfeldbeleuchtung tauschen.. 183
8.4 Kalibrierung – Flip-Unit.. 184
8.4.1 Benötigte Hilfsmittel und Werkzeuge.. 184
8.4.2 Vorbereitung.. 184
8.4.3 Segment-Offsets einstellen.. 185
8.4.4 Segment-Offsets korrigieren.. 186
6 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Inhaltsverzeichnis
8.4.4.1 Korrektur in X-Richtung (Segment 1).. 187
8.4.4.2 Korrektur in Y-Richtung (Segment 1).. 188
8.4.4.3 Korrektur in X-Richtung (Segment 2).. 189
8.4.4.4 Korrektur in Y-Richtung (Segment 1).. 190
8.4.5 Übersicht zur Offset Korrektur in X- und Y-Richtung.. 191
9 Wafer-Wechsel-System.. 193
9.1 Magazinlift.. 194
9.1.1 Ersatzteile tauschen.. 194
9.1.1.1 Vorbereitungen.. 194
9.1.1.2 Motor tauschen.. 195
9.1.1.3 Näherungsschalter tauschen.. 196
9.1.1.4 Crashsensor und Slotabfrage.. 197
9.1.1.5 Schalter für Überprüfung ob eine Kassette vorhanden ist.. 198
9.1.1.6 Haubenschalter.. 199
9.1.1.7 Türschalter.. 200
9.1.1.8 Waferlift – Kugelumlaufspindel tauschen.. 201
9.1.2 Elektrik.. 202
9.2 Greifer.. 203
9.2.1 Übersicht der Hauptbaugruppen.. 203
9.2.2 Übersicht der Ersatzteile.. 204
9.2.3 Ersatzteile tauschen.. 206
9.2.3.1 Voraussetzungen/Vorbereitungen.. 206
9.2.3.2 Hilfsmittel.. 206
9.2.4 Näherungsschalter an der Zahnriemenachse tauschen.. 206
9.2.4.1 Position der Näherungsschalter einstellen.. 208
9.2.5 Motor mit Kupplung für Waferhandling tauschen.. 208
9.2.6 Magnetventile tauschen.. 209
9.2.6.1 Sanftes Klemmen und Verfahren des Greifers einstellen (für Stellplatz 2/4).. 210
9.2.6.2 Sanftes Klemmen und Verfahren des Greifers einstellen (für Stellplatz 1/3).. 211
9.2.7 Greifer für Stellplatz 1/3 demontieren.. 211
9.2.8 Greifer für Stellplatz 2/4 demontieren.. 212
9.2.9 Zahnriemenachse tauschen.. 213
9.2.9.1 Zahnriemenachse am Lift in der Höhe ausrichten.. 214
9.2.9.2 Zahnriemenachse am Wechsler in der Höhe ausrichten.. 215
9.2.10 Waferwechsler komplett tauschen.. 215
10 Option Die-Attach-Unit SWS.. 217
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS.. 217
10.1.1 Beschreibung der Baugruppe Die-Attach-Unit SWS.. 217
10.1.2 Ausgangssituation.. 218
10.1.3 Einbau der Option Die-Attach-Unit in das SWS.. 221
10.1.4 Mechanische Ausrichtung des Die-Attach-Segments - Flip-Kopf-Segment 1.. 233
10.1.4.1 Ausrichtung in Y-Richtung.. 234
10.1.4.2 Ausrichtung in Z-Richtung.. 235
10.1.4.3 Haltezylinder der Transfer-X-Achse mechanisch einstellen.. 236
10.1.4.4 Kabel aufbewahren.. 238
10.1.5 Kalibrierung der Die-Attach-Unit.. 240
10.1.5.1 Kalibrierung der Die-Attach-Drehachse.. 240
10.1.5.2 Kalibrierung der Die-Attach Transfer-X-Achse.. 244
10.2 Ausbau der Die-Attach-Unit aus dem SWS.. 245
11 Ausbaugruppen.. 257
11.1 Wafer-Aufnahmen.. 257