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12 Wafer-Stretcher 12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19 332 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 In den folgenden Schritten wird nun der Empfänger R (2) und der Sender S (1) so ausgerichtet, dass die grö…

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12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 331
Abb.462:
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An der Auswerteeinheit ist nun ein Lichtintensitätswert (in unserem Beispiel 360 rot) abzule-
sen.
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Der Schaltschwellen-Wert ist noch aus einer alten Kalibrierung (in unserem Beispiel 210
grün).
Abb.463:
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Der Sender S (1) sendet nun einen Lichtstrahl (3 blau) aus.
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Der Lichtstrahl (3 blau) trifft den Empfänger R (2) nicht optimal.
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Vom ausgestrahlten Licht kommt nur ein gewisser Bruchteil an Lichtintensität (in unserem Fall
360) am Empfänger R (2) an.
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Ebenso kann man am Expansionsring die Position und die Lichtstreuung des Lichtstahles er-
kennen.
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Die Streuung ist normal, da sich das Licht mit zunehmender Entfernung ausbreitet (Streuung
wird größer), also sich zwangsläufig auch die Lichtintensität mit zunehmender Entfernung ver-
ringert.
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Daher wird niemals der komplette Lichtstrahl beim Empfänger ankommen.
12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
332 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
In den folgenden Schritten wird nun der Empfänger R (2) und der Sender S (1) so ausgerichtet,
dass die größtmögliche Lichtintensität am Empfänger R ankommt. Dies zeigt sich in einem größt-
möglichen Wert (Rot) an der Auswerteeinheit (grüner Lichtstrahl (4)).
Der Sender S wurde schon mithilfe der Fühlerlehre in die beste Ausgangsposition gebracht.
Die Ausrichtung erfolgt nun durch Drehen des Empfänger R zur Seite hin, bis an der Auswerteein-
heit der höchste Wert abzulesen ist. Gehen Sie dazu wie folgt vor:
Abb.464:
► Entfernen Sie die Befestigungsschraube (1) des Empfänger R.
► Drehen Sie den Empfänger R soweit in um die Drehachse (2), bis der Lichtstrahl vom Sender
S maximal erreicht wird.
► Eine optimale Ausrichtung zwischen Empfänger R und Sender S zeigt sich an der größtmögli-
chen Lichtintensität am Empfänger R (= größtmöglicher Wert (Rot) an der Auswerteeinheit).
► Drehen Sie den Empfänger so lange, bis Sie den maximalen Wert erreicht haben und ziehen
Sie die Befestigungsschraube (1) an.
– Beim Anziehen der Befestigungsschraube des Empfängers R wird sich der Wert an der
Anzeigeeinheit verkleinern, da aufgrund des Auflagestiftes der Empfänger R nach unten
gedrückt wird und dadurch sich die Ausrichtung verändert.
– Eine 10%ige Verschlechterung zum maximalen Lichtintensitätswert ist akzeptabel.
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12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 333
Abb.465:
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An der Auswerteeinheit ist nun ein Lichtintensitätswert (in unserem Beispiel 769 rot) abzule-
sen.
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Der Schaltschwellen-Wert ist noch aus einer alten Kalibrierung (in unserem Beispiel 210
grün).
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Wichtig ist hier, dass generell ein Lichtintensitätswert von >500 erreicht werden muss!
Die optimale Flucht zwischen Sender S und Empfänger R ist jetzt eingestellt. Es kommt das maxi-
mal mögliche Licht = maximale Lichtintensität am Empfänger R an.