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8 Flip-Unit 8.3 Ersatzteile tauschen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 181 8.3.4 Waferkamera an Flip-Unit ausbauen Abb.233: Waferkamera – Flachbandkabel und Kamerastecker HINWEIS Waferkamera nur komple…
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8.3 Ersatzteile tauschen
180 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
8.3.1.2 Hohlwellenmotor kalibrieren
Nach dem Tausch und der Einstellung der Übergabeposition ist der Motor zu kalibrieren. Die ermit-
telten Werte müssen auf dem Etikett am Motorkörper (1) eingetragen werden.
Siehe 14.3 "Kamera Kalibrierung" [}365]
8.3.2 Saugteller tauschen
► Entfernen Sie das Einschraubgewinde des Saugtellers und nehmen Sie den Saugteller her-
aus.
Achten Sie darauf, dass der Distanzring an seiner Position verbleibt. Andernfalls ist keine
Dichtigkeit gegeben.
► Setzen Sie den neuen Saugteller gerade auf. Ansonsten besteht die Gefahr, dass das Ein-
schraubgewinde beschädigt wird.
► Befestigen Sie den Saugteller mit einem Drehmoment von 13 Ncm.
8.3.3 Pneumatische Rückholeinheit tauschen
Abb.232: Pneumatische Rückholeinheit
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Flipper and Die Attach.
► Bewegen Sie mit dem Button D013 Z axis holder die Rückholeinheit.
ð Die Anzeige Z Axis holding cylinder free leuchtet.
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8.3.4 Waferkamera an Flip-Unit ausbauen
Abb.233: Waferkamera – Flachbandkabel und Kamerastecker
HINWEIS
Waferkamera nur komplett tauschen
Die Waferkamera mit Halterung darf nur komplett getauscht werden. Die drei Kamera-
Befestigungsschrauben (4) sind versiegelt und dürfen nicht gelöst werden.
► Entfernen Sie die Abdeckung der Flip-Unit.
► Entfernen Sie den Abwurfbehälter und die darunter liegende Kabelabdeckung (1) inkl.
Schrauben.
► Ziehen Sie an der USB-Platine die beiden Flachbandkabel ab (2). Achten Sie auf die Verle-
gung der Flachbandkabel von der USB-Platine zur Waferkamera.
Der Anschluss Nr.1 ist für die Hellfeldplatine, der Anschluss Nr.2 ist für die Dunkelfeldplatine.
► Entfernen Sie den Kamerastecker (3) mit den drei Befestigungsschrauben. Mit der mittleren
ist noch ein Schirm mit eingeklemmt.
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8.3 Ersatzteile tauschen
182 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.234: Waferkamera ausbauen
► Entfernen Sie die beiden Befestigungsschrauben (1) der Waferkamera. Die drei Kamera-
Befestigungsschrauben (3) sind versiegelt und dürfen nicht gelöst werden.
► Ziehen Sie die Kamera nach oben ab. Die Kamera sitzt auf zwei Passstiften (2).
► Setzen Sie die neue Waferkamera ein und befestigen Sie diese mit den zuvor entfernten
Schrauben.
► Montieren Sie den Kamerastecker. Am Kamerastecker ist mit der mittleren Schraube noch ein
Schirm mit eingeklemmt.
► Schließen Sie die Anschlüsse 1 und 2 an die USB-Platine an.
► Fädeln Sie beiden Flachbandkabel (Anschlüsse 1 und 2) wieder ein und stecken Sie diese an
der USB-Platine an. Achten Sie darauf, dass die Kontaktierung unten liegt.
8.3.4.1 Platine für Hellfeldbeleuchtung tauschen
Abb.235: Platine für Hellfeldbeleuchtung tauschen
► Entfernen Sie die Abdeckung (1) mit den vier Befestigungsschrauben.
► Entfernen Sie die beiden Schrauben der Platine (2). Achten Sie auf die darunter liegende
Streuscheibe.
► Ziehen Sie das Flachbandkabel von der Platine (2) ab.
► Montieren Sie die neue Platine.