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12 Wafer-Stretcher 12.4 Ausbau Wafer-Stretcher Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 287 Abb.392: Nun muss das Abdeckblech der Klemmeinheit wie folgt entfernt werden: Abb.393: ► Entfernen Sie die vier Kre…
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
286 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
► Entnehmen Sie vorsichtig das rechte Niederhalteblech.
Abb.390:
► Verschieben Sie nun den Wafer-Stretcher in eine geeignete Position, um Zugang zu den vier
Befestigungsschrauben des linken Niederhaltebleches zu bekommen.
Abb.391:
► Entfernen Sie vom linken Niederhalteblech (4) (s.o.) die vier Befestigungsschrauben und ent-
nehmen Sie das Niederhalteblech vorsichtig.
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 287
Abb.392:
Nun muss das Abdeckblech der Klemmeinheit wie folgt entfernt werden:
Abb.393:
► Entfernen Sie die vier Kreuzschlitzschrauben (1) bis (4) und die Inbusschraube (5). Die Inbus-
schraube dient gleichzeitig zur Befestigung des Klemmzylinders unter dem Abdeckblech.
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288 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.394:
► Entfernen Sie das Abdeckblech.
12.4.3 Demontage an Klemm- und Hubzylinderseite
Zum weiteren Ausbau des Wafer-Stretchers muss nun der Zugang zu den 4x4 Befestigungs-
schrauben vorbereitet werden.
Abb.395:
► Entfernen Sie die Befestigungsschraube des Klemmzylinders (1).