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12 Wafer-Stretcher 12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19 324 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19 12.8.1 Generelle Information zum Durchhang-Sensor 12.8.1.1 Aufbau d…
12 Wafer-Stretcher
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 323
Niederhalter-Bleche montieren
Abb.450: Wafer-Aufnahme - Niederhalter-Blech ausbauen
► Richten Sie die Hubkolben mit dem Hilfstool (2) so aus, dass die Öffnungen nach außen zei-
gen.
► Legen Sie die Niederhalter-Bleche aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Waferaufnahme.
► Legen Sie die konischen Fixierscheiben (3) in die Bohrungen ein.
► Schrauben Sie die Niederhalter-Bleche mit den Schrauben locker fest.
► Stecken Sie das Hilfstool (4) in die Öffnung und fixieren Sie damit den innen liegenden Hub-
kolben.
► Schrauben Sie die jeweils vier Schrauben (1) an den beiden Niederhalter-Blechen (5) fest.
12.7.3.4 Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8
Die Sensoren müssen von der Waferaufnahme demontiert und auf die 8" Expansionsbleche mon-
tiert werden (siehe 12.7.3.3.3 "Hubring bei 8“-Waferstretcher entfernen" [}317]).
An der Klemmung muss der Klotz demontiert werden und anstelle der Klemmhebel eingehängt
werden (siehe 12.7.3.3.2 "Klemmung lösen" [}316]).
12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
324 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
12.8.1 Generelle Information zum Durchhang-Sensor
12.8.1.1 Aufbau der Baugruppe Durchhang-Sensor
Abb.451:
Die Baugruppe Durchhang-Sensor besteht aus:
1. Sender S
2. Empfänger R
3. Auswerteeinheit Sensick WLL180T
12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 325
12.8.1.2 Funktion der Baugruppe Durchhang-Sensor
Der Sender S sendet einen Lichtstrahl aus und der Empfänger R empfängt diesen Lichtstrahl.
Je nachdem, wie stark der Lichtstrahl (Lichtintensität) des Senders S beim Empfänger R ankommt,
wird an der Auswerteeinheit ein Wert angezeigt.
An der Auswerteeinheit Sensick WLL180T gibt es folgende Funktionen:
Abb.452:
1. Lichtleiter vom Sender S und Empfänger R
2. Verriegelung der Lichtleiter
3. Auswahltaste (+ / -)
4. Mode-Taste
5. Teach-Taste
6. Eingestellter Schaltschwellen-Wert (Grün)
Dieser Wert muss geteacht werden.
Wird eine Lichtintensität unter diesem Schaltschwellen-Wert empfangen, so wird kein Signal
ausgegeben.
7. Anzeige der Lichtintensität am Empfänger (Rot)
Dieser Wert zeigt an, wieviel Lichtintensität vom Sender S noch am Empfänger R ankommt.
Da hier davon ausgegangen wird, dass Sender S und Empfänger R optimal auf die Einbauge-
gebenheiten eingestellt wurden, sind diese Werte absolut.
8. OUT-Signal
Abb.453:
Ist der Wert der Lichtintensität am Empfänger R (rote Anzeige (2)) größer als der eingestellte
Schaltschwellen-Wert (grüne Anzeige (1)), dann gilt Folgendes:
●
Der Lichtstrahl ist noch nicht soweit unterbrochen und es besteht keine Gefahr, dass die Wa-
ferfolie an der Basiseinheit streift.
●
Ein Signal (OUT leuchtet Orange (3)) wird ausgegeben und der Wafer darf vom Gripper in
den Waferlift gezogen werden.