00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第494页
18 Anhang 18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung 494 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 18.3.6.5 Initialisierungsablauf für Flip-X (Hand-over) MOT8(H) Der Flip-X-Linearmotor wird in ausgeschalteten Zustand …
18 Anhang
18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 493
Das Home-Signal "HM1" ist links der Mitte +24V und rechts der Mitte 0V.
Das Home-Signal "HM2" ist vor der Mitte +24V und hinter der Mitte 0V.
Mit dieser Selektierung der Home-Signale initialisieren die X/Y-Motoren in die Mitte und anschlie-
ßend werden die Encoder Index-Signale gesucht.
Mit den Index-Signalen der Encoder werden die Counter der X/Y-Achsen aktualisiert für die Kreis-
berechnung. Mit der Kreisberechnung wird das Softwarelimit ermittelt.
18.3.6.2 Initialisierungsablauf für Die-Ejector-Needle MOT4(D)
Die Die-Ejector-Needle Achse hat einen Hub von 5mm und ist mit der Limit-Sensor-Platine "DUAL-
LB" begrenzt.
Mit den aufgesetzten Lichtschranken "FL4" (obere-Position) und "RL4" (untere-Position) wird der
Motor gestoppt.
Die Initialisierung des Motors erfolgt nach unten zu den Sensor "RL4". Anschließend wird die Enco-
der-Index-Spur nach oben gesucht.
Ist die Index-Spur gefunden, wird der Counter der Achse MOT4(D) aktualisiert.
Die Index-Spur des Encoders wird in der Vormontage grob eingestellt, sodass die Index-Spur ca.
700‑900µm vom Sensor "RL4" entfernt ist.
Bei grober Fehleinstellung kann die Nadel bei der Initialisierung aus der Die-Ejector-Kappe ragen.
18.3.6.3 Initialisierungsablauf für Flip-Rotor MOT5(E)
Das Szenario der Initialisierung des Flip-Tool-Unit mit den drei Motoren Tool-Rotor, Flip-Z und Flip-
X (=Optionale Die-Attach-Unit) erfolgt hintereinander. Als erstes wird der Flip-Rotor initialisiert.
Dabei sind die Linearmotoren Flip-Z und Flip-X ausgeschaltet und werden über pneumatische Zy-
linder in der Parkposition gehalten, sodass die Kulisse für den Flip-Rotor geschlossen ist.
Der Flip-Rotor (180°-Bewegung vor/zurück) wird eingeschaltet und sucht den Home-Sensor "HO5".
Der Home-Sensor sitzt an der oberen Flip-Rotor-Position, um ca. 10° vorgelagert.
Anschließend wird die Index-Spur des Encoders im Uhrzeigersinn gesucht, die 15° von der oberen
Tool-Rotor-Position vorgelagert ist.
Der Counter des Flip-Rotors wird aktualisiert und der Motor fährt anschließend in die Parkposition,
damit anschließend die Motoren Flip-Z und Flip-X frei initialisieren können.
18.3.6.4 Initialisierungsablauf für Flip-Z (Pick-up) MOT6(F)
Nachdem die Initialisierung des Flip-Rotors abgeschlossen ist, können die Motoren Flip-Z (Pickup)
und Flip-X (Hand-over) gleichzeitig initialisiert werden.
Der Flip-Z-Linearmotor wird im ausgeschalteten Zustand mittels Rückhol-Zylinder in der oberen
Parkposition gehalten.
Der Flip-Z-Motor wird mit Strom versorgt, anschließend wird der Rückhol-Zylinder (Set OUT13 on)
nach unten ausgefahren, so dass der Verfahrhub nach unten frei ist.
Mit dem anschließend geschalteten Home-Sensor "HO6" (Signal = 24V) erfolgt die Freigabe für
die Initialisierung.
Der Linearmotor sucht die Index-Spur nach oben, diese sitzt ca. 0,5mm unterhalb des oberen me-
chanischen Anschlages.
Ist die Index-Spur gefunden, dann wird der Counter der Achse MOT6(F) aktualisiert und der Motor
fährt in die gespeicherte Parkposition.
Bei Not-Aus-Funktion
Wird Not-Aus gedrückt, ist anschließend der Motor stromlos und der Rückhol-Zylinder wird gleich-
zeitig über K1 (Signal OUT13 wird unterbrochen) ausgeschaltet.
Der gefederte Rückhol-Zylinder fährt nach oben und der Flip-Z-Motor, gekoppelt mit dem Flip-Tool,
wird in der eingestellten Parkposition gehalten.
18 Anhang
18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung
494 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
18.3.6.5 Initialisierungsablauf für Flip-X (Hand-over) MOT8(H)
Der Flip-X-Linearmotor wird in ausgeschalteten Zustand mittels Klemm-Zylinder in die Parkposition
geklemmt.
Der Flip-X Motor wird mit Strom versorgt, anschließend wird der Klemm-Zylinder (Set OUT14 on)
geöffnet.
Mit dem anschließend geschalteten Home-Sensor "HO8" (Signal = 24V) erfolgt die Freigabe für
die Initialisierung.
Der Linearmotor sucht die Index-Spur schräg nach oben. Diese sitzt ca. 0,5mm unterhalb des obe-
ren mechanischen Anschlages.
Ist die Index-Spur gefunden, wird der Counter der Achse MOT8(H) aktualisiert und der Motor fährt
in die gespeicherte Parkposition.
Bei Not-Aus-Funktion
Wird Not-Aus gedrückt, ist anschließend der Motor stromlos und der Klemm-Zylinder wird gleich-
zeitig über K2 (Signal OUT14 wird unterbrochen) ausgeschaltet.
Der gefederte Klemm-Zylinder schließt sich und der Flip-X-Motor wird in der eingestellten Parkposi-
tion gehalten.
18.3.6.6 Initialisierungsablauf für Die-Attach-Rotate MOT7(G)
Der Die-Attach-Rotor (360°-Bewegung rundum) wird eingeschaltet und sucht den Home-Sensor
"HO7".
Der Home-Sensor sitzt an der rechten seitlichen Rotor-Position. Anschließend wird die Index-Spur
des Encoders in Uhrzeigersinn gesucht.
Ist die Index-Spur gefunden, wird der Counter der Achse MOT7(G) aktualisiert und der Motor fährt
in die gespeicherte Übergabeposition.
18.3.6.7 Initialisierungsablauf für Wafer-Magazinlift MOT9(A)
Die Magazinlift Achse hat einen Hub von 370mm und ist mit den Limit-Sensoren "RL9" (unten) und
"FL9" (oben) begrenzt.
Eine angebaute Motorbremse klemmt den Wafer-Magazinlift in Position.
Sicherheits-Türschalter
Die Initialisierung kann nur mit geschlossener Waferlift-Türe erfolgen.
Ein geöffneter Sicherheits-Türschalter unterbricht die Signale "FL9" und "RL9", sodass per Steue-
rung der Motor nicht in Bewegung gesetzt werden kann.
Gleichzeitig wird über den geöffneten Sicherheits-Türschalter die Motorbremse eingeschaltet (Ma-
gnetansteuerung 24V = unterbrochen) und das Kontrollsignal "IN1.3" ausgeschaltet.
Initialisierung
Durch Einschalten des Motorstroms wird gleichzeitig mit dem Signal "AEN1" über einen Leistungs-
Optokoppler "OK1" die Motorbremse ausgeschaltet (Bremsmagnet ist ein).
Die Initialisierung des Motors erfolgt nach oben zum Sensor "FL9". Anschließend wird die Encoder-
Index-Spur nach unten gesucht.
Ist die Index-Spur gefunden, wird der Counter der Achse MOT9(A) aktualisiert und der Magazinlift
fährt anschließend in die Ausgangsposition.
Not-Aus-Funktion
Wird Not-Aus gedrückt, ist anschließend der Motor stromlos und die Motorbremse wird über K2
eingeschaltet (Ansteuerung GND-Bremsmagnet ist unterbrochen).
18 Anhang
18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 495
18.3.6.8 Initialisierungsablauf für Wafer-Handler MOT10(B)
Die Wafer-Handler-Achse hat einen Hub von 460mm (CSM8) oder 510mm (CSM12) und ist mit
den Limit-Sensoren "RL10" (Magazin-Seite) und "FL10" (Flip-Seite) begrenzt. Die Initialisierung
des Motors erfolgt nach hinten zum Sensor "FL10". Anschließend wird die Encoder-Index-Spur
nach vorne gesucht.
Ist die Index-Spur gefunden, wird der Counter der Achse MOT10(B) aktualisiert und der Wafer-
Handler fährt anschließend in die hintere Ausgangsposition.
18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
18.4.1 Steuerplatinen Input/Output
DMC1886(1866) Galil-Motion-Controller (PCI-Bus) mit integriertem I/O-System
Anschlüsse über 2x 100pol. Stecker:
●
16x Digital-Input, Optoisolation, 24V/PNP,
●
8x Digital-Input 5V/NPN,
●
8x Analog-Input +/-10V, (nicht verwendet)
●
16x Digital-Output, Optoisolation 24V/500mA, p-schaltend
DMC1826 Galil-Motion-Controller (PCI-Bus) mit integriertem I/O-System
Anschlüsse über 1x 100pol. Stecker für:
●
8x Digital-Input, Optoisolation, 24V/PNP,
●
8x Analog-Input +/-10V, (nicht verwendet)
●
8x Digital-Output, Optoisolation, 24V/500mA, p-schaltend
Verteiler I/O-Platine DMC-INT1 (145 x 72mm), Einbauort: Waferlift
Anschlussklemmen für:
●
8x Digital-Input 24VPNP mit Leuchtdioden-Anzeige rot.
●
8x Digital-Output 24V / max2A / p-schaltend mit Leuchtdioden-Anzeige gelb.
●
12x Digital-Input 24V/PNP, = Limit und Home-Sensoren für 4-Motoren, mit LED.
●
4x Klemme MCMx (Motor-command), 4x Klemme AENx (Amplify-enable) mit LED.
●
1x ABORT (Abbruch), 1x ECC (Encoder-common), 1x INC (Input-common).
●
1x LSC (Limit-common), 8x Analog-Input +/-10V, 4x Klemmen für Analog-GND.
●
16x Klemme (grau) GND, 12x Klemme (orange) 24V, abgesichert mit F1/4AT.
●
Klemmen (orange) 2x 5V, 1x +12V, 1x -12V, kommend vom PC.
Verteiler I/O-Platine DMC-INT2 (230 x 145mm) Einbauort: Elektroeinschub
Anschlussklemmen für:
●
24x Digital-Input 24V/PNP mit Leuchtdioden-Anzeige rot.
●
16x Digital-Output / 24V / max2A / P-schaltend / mit Leuchtdioden-Anzeige gelb.
●
24x Digital-Input 24V/PNP, Limit und Home-Sensoren für 8-Motoren, mit LED rot.
●
8x Klemme MCMx (Motor-command), 8x Klemme AENx (Amplify-enable) mit LED.
●
2x ABORT (Abbruch), 2x ECC (Encoder-common), 2x INC (Input-common).
●
2x LSC (Limit-common), 8x Analog-Input +/-10V, 4x Klemmen für Analog-GND.
●
40x Klemme (blau) GND, 24x Klemme 24V (orange), abgesichert mit F1/4AT.
●
Klemmen (orange) 2x 5V (über F2/1AT), 2x +12V, 2x -12V, kommend vom PC.