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12 Wafer-Stretcher 12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19 334 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 12.8.3 Einstellen des Schaltschwellenwerts Im Folgenden wird der Schaltschwellenwert so eingestellt, so da…

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12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 333
Abb.465:
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An der Auswerteeinheit ist nun ein Lichtintensitätswert (in unserem Beispiel 769 rot) abzule-
sen.
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Der Schaltschwellen-Wert ist noch aus einer alten Kalibrierung (in unserem Beispiel 210
grün).
●
Wichtig ist hier, dass generell ein Lichtintensitätswert von >500 erreicht werden muss!
Die optimale Flucht zwischen Sender S und Empfänger R ist jetzt eingestellt. Es kommt das maxi-
mal mögliche Licht = maximale Lichtintensität am Empfänger R an.
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334 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
12.8.3 Einstellen des Schaltschwellenwerts
Im Folgenden wird der Schaltschwellenwert so eingestellt, so dass ein sicheres Wechseln des Wa-
fers mit durchhängender Waferfolie gewährleistet wird.
Der minimal erlaubten Abstand wird mit Hilfe von 1mm-Blechen (oder alternativ mit gefaltetem Pa-
pier) simuliert.
Dann wird ein demontiertes Expansionsblech darübergelegt. Dieses Blech beeinflusst den Licht-
strahl und minimiert somit die ankommende Lichtintensität am Empfänger R. Dieser Wert dient so-
mit als Schaltschwellen-Wert in der Auswerteeinheit.
Abb.466:
► Positionieren Sie die 1mm-Bleche parallel zum Lichtstrahl.
► Alternativ, wenn kein Blech zur Verfügung steht, können Sie auch ein Papier auf die Dicke
von 1mm falten.
► Gegebenenfalls, je nach Papierstabilität, können Sie das Papier auch auf 1,2mm falten, da
nach dem Auflegen des relativ schweren Expansionsbleches das Papier in der Dicke kompri-
miert werden wird.
► Legen Sie dann die beiden gefalteten Papiere, wie die Bleche, parallel zum Lichtstrahl auf
den Expansionsring.
Abb.467:
► Legen Sie nun das Expansionsblech auf die Bleche (oder Papiere).
Beachten Sie dabei folgende Punkte:
– Die beiden Bleche müssen sauber aufliegen.
– Das Expansionsblech muss komplett auf den beiden Blechen aufliegen.
– Das Expansionsblech darf nirgends anders aufliegen.
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Im Folgenden wird nun die Kalibrierung des Schaltschwellen-Wertes an der Auswerteeinheit Sen-
sick WLL180T durchgeführt.
Eine Übersicht und Erklärung der Tasten finden Sie im Abschnitt 12.8.1.2 "Funktion der Baugruppe
Durchhang-Sensor" [}325].
Wir verwenden zum Einstellen der Schaltschwelle den Ablauf "1-Point-Teach-In".
Abb.468:
Abb.469:
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Im Bild sieht man den alten geteachten Wert für die Schaltschwelle 444 (grün).
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Der momentane Wert für die Lichtintensität am Empfänger R beträgt 202 (rot).
Durch das Expansionsblech mit den Abstandsblechen von 1mm wird das vom Sender S ausge-
strahlte Licht so beeinträchtigt, dass nun nur noch ein Restlicht mit der Intensität von 202 am Emp-
fänger R ankommt.
► Drücken Sie die Teach-In-Taste für 3 Sekunden.