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5 Grundrahmen – X/Y-Unit 5.3 Teiletausch 98 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.101: ► Befestigen Sie den zweiten Niederhalter. Abb.102: ► Befestigen Sie das Flachbandkabel mit Kabelbindern an den K…
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 97
Abb.99:
► Verdrahten Sie die Kabel des Hall-Sensors und der Stromversorgung zum X-Motor.
Achten Sie auf die korrekte Verdrahtung (siehe 5.3.2.1 "Demontage X-Motor und Kupp-
lung" [}84]).
► Schließen Sie das Flachbandkabel des Encoders an.
Abb.100:
► Positionieren Sie die Kabel und fixieren Sie es mit einem Kabelniederhalter.
► Verschrauben Sie den Kabelniederhalter. Achten Sie darauf, keine Kabel zu quetschen!
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
98 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.101:
► Befestigen Sie den zweiten Niederhalter.
Abb.102:
► Befestigen Sie das Flachbandkabel mit Kabelbindern an den Kabeln.
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 99
Abb.103:
► Verschieben Sie den Wafertisch über den gesamten Verfahrbereich X-Achse.
► Stellen Sie sicher, dass der mechanische Anschlag der X-Achse genügend Abstand zu den
Kabeln hat. Fixieren Sie ggf. vorsichtig den gesamten Kabelstrang (siehe Bild)!
5.3.3 Tausch Sensoren Y-Achse
Die beiden Näherungsschalter überwachen den vorderen und hinteren Endanschlag der Y-Achse
des Wafertisches. Das Kabel des jeweiligen Näherungschalters ist an der Adapterplatine Wafer-
tisch angeschlossen.
Abb.104:
1. Näherungsschalter für Reverse Limit (RL2)
2. Näherungsschalter für Forward Limit (FL2)
3. Adapterplatine Wafertisch
4. Abdeckung Adapterplatine
Informationen zur Verdrahtung finden Sie im Abschnitt 5.2.3 "Überblick Sensoren" [}70].
► Entfernen Sie die Abdeckung (4) der Adapterplatine Wafertisch.