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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS 242 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.320: ► Entfernen Sie das Kalibrier-Tool vom Die-Attach-Antrieb. Entfernen Sie dazu die…
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
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Abb.318:
► Das Fenster Calibration of die attach axes zeigt Ihnen im Folgenden Informationen darüber
was der Kalibrier-Assistent tun wird und was der Bediener tun muss.
In Step 1 gibt es für den Bediener nichts zu tun.
► Wählen Sie Next.
Abb.319:
► Step 2 wird automatisch durchgeführt.
Führen Sie folgende Schritte wie auf dem Bildschirm genannt durch:
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Abb.320:
► Entfernen Sie das Kalibrier-Tool vom Die-Attach-Antrieb. Entfernen Sie dazu die Befesti-
gungsschraube (siehe Abbildung).
Abb.321:
► Entfernen Sie die Pipette vom Die-Attach-Segment und drehen Sie das Segment in die obere
Transfer-Position. Montieren Sie die Lehre (siehe Abbildung).
► Wählen Sie Next.
ð Nach erfolgreicher Kalibrierung erscheint das Fenster mit Step 3.
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 243
Abb.322:
Abb.323:
► Montieren Sie die Lehre zurück in die Original-Position.
► Wählen Sie Next.
ð Das folgende Fenster mit Step 4 erscheint.