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7 Die-Ejector 7.6 Umbau Nadel-Ausstecheinheit Bajonett (alte Version) auf Nadel-Ausstecheinheit Magnetisch (aktuelle 170 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.218: ► Heben Sie den Bajonettring (2) nach…
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7.6 Umbau Nadel-Ausstecheinheit Bajonett (alte Version) auf Nadel-Ausstecheinheit Magnetisch (aktuelle
Version)
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 169
Benötigte Werkzeuge
●
Standard Inbus-Schlüsselsatz
●
Inbusschlüssel 1,27mm / 1,5mm
7.6.1 Vorbereitende Maßnahmen
► Fahren Sie den Wafertisch in Wechselposition.
► Fahren Sie den Die-Ejector Z-Achse nach oben.
Der folgende Umbau findet in der Maschine statt. Alle folgenden Abbildungen sind Beispiele.
7.6.2 Ausbau Nadel-Ausstecheinheit Bajonett
Abb.216:
► Entriegeln Sie den Bajonettring (2) mit einer Rechtsdrehung (3) (im Uhrzeigersinn) und ziehen
Sie die Nadel-Ausstecheinheit(1) nach oben ab.
Abb.217:
► Entfernen Sie die vier Halteschrauben (4) (Inbus 1,27 oder 1,5, je nach Schraubentyp) des
Bajonettringes (2).
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7.6 Umbau Nadel-Ausstecheinheit Bajonett (alte Version) auf Nadel-Ausstecheinheit Magnetisch (aktuelle
170 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.218:
► Heben Sie den Bajonettring (2) nach oben ab.
Abb.219:
► Entfernen Sie die beiden Befestigungsschrauben (5) (Inbus 2,5) der Platine Gabellicht-
schranke(6).
Das Kabel zur Gabellichtschranke wird nicht abgesteckt (das Bild ohne Kabel ist nur ein Bei-
spiel).
► Ziehen Sie den Vakuumschlauch (blau) ab.
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 171
Abb.220:
► Entfernen Sie die drei Befestigungsschrauben (7) (Inbus 2,5) am Grundkörper des Bajonett-
verschlusses.
Abb.221:
► Demontieren Sie den Grundkörpers des Bajonettverschlusses.