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12 Wafer-Stretcher 12.4 Ausbau Wafer-Stretcher 286 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 ► Entnehmen Sie vorsichtig das rechte Niederhalteblech. Abb.390: ► Verschieben Sie nun den Wafer-Stretcher in eine g…
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 285
Abb.387:
► Wenn Sie kein Hilfstool (Pilz) haben, benutzen Sie bitte einen Inbusschlüssel. Achten Sie in
diesem Fall darauf die Bohrung in den Hubkolben nicht zu beschädigen.
Abb.388:
► Entfernen Sie die vier Inbusschrauben (3) des rechten Niederhaltebleches und entnehmen
Sie jeweils die konische Fixierscheibe und Inbusschraube.
Abb.389:
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
286 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
► Entnehmen Sie vorsichtig das rechte Niederhalteblech.
Abb.390:
► Verschieben Sie nun den Wafer-Stretcher in eine geeignete Position, um Zugang zu den vier
Befestigungsschrauben des linken Niederhaltebleches zu bekommen.
Abb.391:
► Entfernen Sie vom linken Niederhalteblech (4) (s.o.) die vier Befestigungsschrauben und ent-
nehmen Sie das Niederhalteblech vorsichtig.
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12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 287
Abb.392:
Nun muss das Abdeckblech der Klemmeinheit wie folgt entfernt werden:
Abb.393:
► Entfernen Sie die vier Kreuzschlitzschrauben (1) bis (4) und die Inbusschraube (5). Die Inbus-
schraube dient gleichzeitig zur Befestigung des Klemmzylinders unter dem Abdeckblech.