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15 Kalibrierung 15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling 398 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 15.4.1.2 Magazin-Slot-Scan-Position kalibrieren Der Slot-Scan-Sensor erkennt für jeden Slot, ob sich…

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15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 397
Abb.566:
► Wählen Sie Waferlift calibration (3).
Abb.567:
► Wählen Sie Calibrate magazine lift limits.
ð Die Hub-Achse erkennt den oberen (vorwärts) und unteren (rückwärts) Endschalter der
Liftachse.
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15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
398 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
15.4.1.2 Magazin-Slot-Scan-Position kalibrieren
Der Slot-Scan-Sensor erkennt für jeden Slot, ob sich ein Wafer-Rahmen im Magazin befindet.
Das Magazin wird gescannt, wenn eine der folgenden Bedingungen zutrifft:
●
Ein neues Magazin ist in den Waferlift eingelegt.
●
Das System wurde initialisiert und ein Magazin befindet sich im Lift.
●
In der Ansicht Products ist Scan magazine ausgewählt.
Abb.568:
► Wählen Sie Calibrate wafer presence sensor, um die Position des Wafer-Vorhanden-Sen-
sors in Bezug auf das Magazin zu kalibrieren.
ð Die Kalibrierreihenfolge läuft automatisch.
ð Die Hub-Achse verfährt, bis die Magazinplatte den Slot-Scan-Sensor aktiviert. Von dieser
Position wird die finale Position für den Slot-Scan-Sensor berechnet.
► Wählen Sie die Registerkarte Positions, um zu prüfen, ob die kalibrierte Position richtig ist.
Abb.569:
► Wählen Sie Go to position neben Slot scan position.
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15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 399
Abb.570:
► Die Magazin-Platte sollte nun den Slot-Sensor aktivieren (siehe Abbildungen).
► Die LED muss an sein (2).
Abb.571:
► Wenn der Sensor aus ist ((1) in obiger Abbildung), kann die Position der Magazinplatte mit
den Pfeiltasten verfahren werden (siehe in obiger Abbildung).
► Bevor Sie nach oben oder unten verfahren, wählen Sie die Schrittgröße (z.B. 100µm).
► Verfahren Sie die Hub-Achse nach oben, bis die Sensor-LED an ist.
ð Der letzte Schritt, bevor die LED einschaltet, sollte nicht größer als 100µm sein.
► Wenn die korrekte Position gefunden ist, wählen Sie Save neben Slot scan position.
HINWEIS
Wenn Sie 12" Wafer verwenden, biegen sich die Rahmen möglicherweise bis zu 500µm
durch. Wenn Sie auf Probleme beim Wechseln der 12er Wafer stoßen, korrigieren Sie die
Slot-Scan-Position um ca. 500µm nach oben.