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7 Die-Ejector 7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position 152 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.188: ► Wechseln zu Ejection-Unit (8) . Abb.189: ► Fahren Sie die Die-Ejector-Unit nach…
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7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 151
Abb.186:
► Fahren Sie den Wafertisch in Wechselposition (4).
► Verlassen Sie dieses Menü in die Hauptansicht.
Abb.187:
► Wechseln Sie mit den Schritten (5) bis (7) in das Menü Die-Handling.
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7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position
152 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.188:
► Wechseln zu Ejection-Unit (8).
Abb.189:
► Fahren Sie die Die-Ejector-Unit nach oben (9).
► Drücken Sie den Not-Aus-Schalter am SWS.
Mit dem Drücken des Not-Aus-Schalters sind alle Achsen freigeschaltet und können von
Hand verschoben werden.
Die nach oben gefahrene Die-Ejector-Unit bleibt dabei in Position.
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 153
Abb.190:
► Verschieben Sie den Wafertisch in Richtung Waferlift(2), um Zugang zu allen Befestigungs-
schrauben(1) der Die-Ejector-Grundplatte zu bekommen.
7.4.2 Justage der Nadel in X/Y-Position
Abb.191:
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben (1 und 2) der Grundplatte und drücken Sie die
Grundplatte in Richtung Exzenterwelle.