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9 Wafer-Wechsel-System 9.2 Greifer Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 209 ► Falls keine Bezeichnung der Leitungen vorhanden ist: Nehmen Sie die Stromlaufplanmappe zur Hilfe und kennzeichnen Sie die anges…
9 Wafer-Wechsel-System
9.2 Greifer
208 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
9.2.4.1 Position der Näherungsschalter einstellen
► Schalten Sie das SWS ein und überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Service Settings => Motor settings
(siehe 14.1 "SWS GUI - Service Settings" [}363]).
Für den Näherungschalter Forward Limit active:
► Wählen Sie den Button GallilMotion_axis8
und dann wählen Sie die Registerkarte
Axis status.
► Bewegen Sie die Achse in den mechanischen Endanschlag.
► Bevor die Achse den mechanischen Endanschlag erreicht (ca. 5 mm davor) muss der Nähe-
rungsschalter ansprechen (LED leuchtet).
ð Die Anzeige leuchtet:
– Reverse Limit active
Somit ist gewährleistet, dass der maximale Verfahrweg ausgenutzt wird, die Achse jedoch
nicht in den mechanischen Endanschlag fahren kann.
Für den Näherungsschalter Reverse Limit active:
► Wählen Sie den Button GallilMotion_axis8
und dann wählen Sie die Registerkarte
Axis status.
► Bewegen Sie die Achse in die Abholposition um einen Wafer aus der Kassette zu entnehmen.
Der Greifer muss sicher den Wafer erreichen und mit den Backen klemmen können. Der
Näherungsschalter muss dann in dieser Position ca. 5mm weiter verschoben werden und
muss dann ansprechen (LED leuchtet).
ð Die Anzeige leuchtet:
– Forward Limit active
Somit ist gewährleistet, dass der Wafer sicher abgeholt werden kann, die Achse jedoch
nicht in den mechanischen Endanschlag fahren kann.
9.2.5 Motor mit Kupplung für Waferhandling tauschen
Abb.267: Motor mit Kupplung für das Waferhandling
Der Motor fährt mit Hilfe der Zahnriemenachse den Greifer in die Entnahme- und in die Bearbei-
tungsposition.
Ausbau
► Entfernen Sie die Abdeckung der Motorplatine (1).
9 Wafer-Wechsel-System
9.2 Greifer
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 209
► Falls keine Bezeichnung der Leitungen vorhanden ist: Nehmen Sie die Stromlaufplanmappe
zur Hilfe und kennzeichnen Sie die angeschlossenen Leitungen.
► Öffnen Sie die Kabelbinder und Kabelschellen und fädeln Sie die Motorleitung und das Flach-
bandkabel für den Encoder bis zur Motorplatine (1) aus.
► Stecken Sie die Kabel von der Motorplatine ab.
► Bewegen Sie die Zahnriemenachse so, dass in der Öffnung (2) am Motorflansch (3) die Kupp-
lung zu sehen ist.
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben (6) des Motors am Motorflansch (3).
► Ziehen Sie den Motor (5) mit der Kupplung (4) heraus.
► Kontrollieren Sie die Kupplung (4) auf Beschädigung und tauschen diese ggf. aus.
Einbau
► Schieben Sie den Motor mit Kupplung auf die Antriebswelle. Drehen Sie die Kupplung dabei
so in Position, dass sie in das Gegenstück eingreift.
► Ziehen Sie die vier Befestigungsschrauben (6) am Motorflansch fest.
► Schließen das Motor- und Encoderkabel an die Motorplatine an.
► Fixieren und bündeln Sie die Kabel ggf. mit Kabelbinder. Die Kabel dürfen nirgends scheuern
oder klemmen.
► Montieren Sie die Abdeckung der Motorplatine.
9.2.6 Magnetventile tauschen
Abb.268: Magnetventile für die Greifersteuerung
Das Magnetventil (Y1) steuert das Rauf- und Runterfahren des Greifers. Das Magnetventil (Y2)
steuert die Klemmung der Greiferbacken (auf/zu). Je nach Version sind die Magnetventile entspre-
chend angeordnet und gekennzeichnet (Y1/Y2). Zur Identifizierung des jeweiligen Magnetventils
lesen Sie die Stromlaufpläne und den Pneumatikplan.
Magnetventil tauschen
► Stecken Sie die Pneumatikanschlüsse (4) und die elektrischen Anschlüsse der Magnetventile
ab.
► Entfernen Sie die Befestigungsschrauben (3) und entnehmen Sie das Magnetventil.
► Montieren Sie das Magnetventil und stellen Sie die pneumatischen und elektrischen
Anschlüsse wieder her.
9 Wafer-Wechsel-System
9.2 Greifer
210 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
► Überprüfen Sie das Magnetventil auf Funktion.
– Ein- und Ausschalten.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Wafer Changer.
► Steuern Sie das Magnetventil Y1 an.
– DO18 Gripper up/down fährt den Greifer rauf und runter.
► Überprüfen Sie die Eingangssignale für die entsprechende Position.
– DI29 Gripper position: up
– DI30 Gripper position: down
► Steuern Sie das Magnetventil Y2 an.
– DO19 Gripper open/closed öffnet und schließt die Greiferbacken.
► Überprüfen Sie die Eingangssignale für die entsprechende Position.
– DI31 Gripper: open
– DI32 Wafer present in gripper
9.2.6.1 Sanftes Klemmen und Verfahren des Greifers einstellen (für Stellplatz 2/4)
Abb.269: Einstelldrossel am Greifer (2/4)
Mit Hilfe von Einstelldrosseln kann die Klemmung der Greiferbacken (1), sowie das Rauf- und Run-
terfahren des Greifers (2) eingestellt werden. Beide Aktionen sollen sanft und ohne Schlagge-
räusche erfolgen.