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15 Kalibrierung 15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und Software) Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 369 15.2.3 Vorbereitung der Software Um für die Aktivierung des Setup-Modus die Montagep…

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15 Kalibrierung
15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und Software)
368 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
15.2.2 Nachrüstkonzept für den Setup-Modus
Abb.518:
15 Kalibrierung
15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und Software)
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 369
15.2.3 Vorbereitung der Software
Um für die Aktivierung des Setup-Modus die Montageplatte zugänglich zu machen, muss sich der
Magazinlift in der Position Magazinwechsel befinden.
Die folgenden Schritte müssen durchgeführt werden:
Abb.519:
► Wählen Sie Settings (1).
► Wählen Sie User Settings (2).
► Wählen Sie Machine Service (3).
► Geben Sie das Kennwort (4) für die Bedienebene Machine Service ein → service1
► Wählen Sie Login (5).
Abb.520:
► Wählen Sie Service (6).
► Wählen Sie Calibration of wafer changer (7).
15 Kalibrierung
15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und Software)
370 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.521:
► Wählen Sie Calibration wafer lift (8).
► Wählen Sie die Registerkarte Positions (9).
► Wählen Sie Go to position (10), um den Hubtisch in die Position Magazinwechsel zu fahren
15.2.4 Kabel an der Montageplatte für Setup-Modus umstecken
Benötigte Werkzeuge
●
Maschinenschlüssel
●
Inbus-Schlüssel 5mm
Arbeitsschritte
► Öffnen Sie mit Hilfe des Maschinenschlüssels die vordere Tür des Magazinlifts!
Abb.522:
► Öffnen Sie die Verriegelungsschraube (2) des Turms mit Hilfe eines 5mm Inbusschlüssels
(die Schraube ist verliersicher).