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9 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Inhaltsverzeichnis 15.4.1.2 Magazin-Slot-Scan-Position kalibrieren .. 398 15.4.1.3 Wafer-Übergabeposition des Magazins in Bezug auf den Wafertisch kalibrieren .. …

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8 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Inhaltsverzeichnis
12.8.2.2 Vorbereitende Tätigkeiten.. 328
12.8.2.3 Justage (Ausrichten) des Durchhang-Sensors.. 328
12.8.3 Einstellen des Schaltschwellenwerts.. 334
12.8.3.1 Überprüfen der Funktion "Schaltschwelle".. 336
12.8.4 Abschließende Arbeiten.. 337
13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung.. 339
13.1 Ausbau und Tausch BoxPC.. 339
13.1.1 Vorbereitende Tätigkeiten.. 339
13.1.1.1 Datenbackup.. 339
13.1.1.2 SWS vorbereiten.. 339
13.1.2 Vorbereitung zum Ausbau des BoxPC.. 340
13.1.2.1 Kabelverbindungen auf der BoxPC-Rückseite.. 342
13.1.3 Entnahme des BoxPC.. 345
13.1.4 Einbau neuer BoxPC.. 346
13.1.4.1 Anschluss neuer BoxPC.. 347
13.1.4.2 Abschließende Arbeiten nach Einbau.. 347
13.2 GALIL-Karten im BoxPC.. 348
13.2.1 Generelles zu GALIL-Karten.. 348
13.2.2 Austausch der GALIL-Karte.. 350
13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen.. 353
13.3.1 Ausbau der Servoverstärker AMP-19540 im SWS-Rahmen.. 354
13.3.2 GALIL AMP-19540 im Detail.. 358
13.3.3 Einbau der Servoverstärker AMP-19540 im SWS-Rahmen.. 360
14 Einstellungen und Testen.. 363
14.1 SWS GUI - Service Settings.. 363
14.2 Manuelle Einstellungen.. 364
14.3 Kamera Kalibrierung.. 365
15 Kalibrierung.. 367
15.1 Allgemeines.. 367
15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und Software).. 367
15.2.1 Vorbedingung.. 367
15.2.2 Nachrüstkonzept für den Setup-Modus.. 368
15.2.3 Vorbereitung der Software.. 369
15.2.4 Kabel an der Montageplatte für Setup-Modus umstecken.. 370
15.2.5 Regeln für den Setup-Modus – Sicherheitsrelevantes Thema!.. 374
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit.. 374
15.3.1 Vorbereitung - Haltezylinder der Z-Achse einstellen.. 374
15.3.1.1 Unterschiedliche Verriegelungssysteme für den Haltezylinder.. 376
15.3.1.2 Haltezylinder der Z-Achse einstellen.. 377
15.3.2 Kalibrierung des SWS - Flip-Kopf.. 379
15.3.2.1 Kalibrierungsmenü aufrufen - Flip-Kopf.. 379
15.3.2.2 Kalibrierung - Flip-Kopf-Drehachse.. 379
15.3.2.3 Kalibrierung - Flip-Kopf-Z-Achse.. 381
15.3.2.4 Kalibrierung - Segment-Offset in X-Richtung kalibrieren.. 385
15.3.2.5 Kalibrierung - Die-Ejector-Nadel.. 391
15.3.2.6 Kalibrierung - Kalibrierstation (nicht am SWS verwendet).. 395
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling.. 396
15.4.1 Waferlift kalibrieren.. 396
15.4.1.1 Endpositionen des Magazinlifts kalibrieren.. 396
9Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Inhaltsverzeichnis
15.4.1.2 Magazin-Slot-Scan-Position kalibrieren.. 398
15.4.1.3 Wafer-Übergabeposition des Magazins in Bezug auf den Wafertisch kalibrieren.. 400
15.4.1.4 Waferlift-Position kalibrieren - Magazinlift-Wechsel-Position.. 403
15.4.2 Menü Wafertisch-Kalibrierung.. 404
15.4.2.1 Wafertisch-Kalibrierung.. 404
15.4.2.2 Wafertisch-Positionen.. 405
15.4.3 Menü Wafer-Wechsel-Kalibrierung.. 412
15.5 SWS-Datensicherung und -Wiederherstellung.. 414
15.5.1 Maschinendaten.. 414
15.5.2 Produktdaten.. 415
16 Software.. 417
16.1 Allgemeines.. 417
16.1.1 Kurzbeschreibung.. 417
16.1.2 Lieferumfang.. 417
16.1.2.1 Softwarepaket SWS.. 417
16.1.2.2 Betriebssystempaket SWS.. 417
16.2 Installation des Betriebssystems.. 417
16.2.1 Backup der installierten Software.. 417
16.2.1.1 Backup der Kalibrier- und Produktdaten per GUI.. 417
16.2.1.2 Backup der Halcon Lizenz.. 421
16.2.1.3 Backup der Halcon Lizenz per Linux Konsole.. 421
16.2.1.4 Wiederherstellen der Halcon Lizenz per GUI.. 424
16.2.1.5 Backup der installierten SWS Software über Linux Konsole.. 426
16.2.1.6 Backup über Bugreport.. 429
16.2.1.7 Erstellen einer Recovery DVD zur System Wiederherstellung.. 432
16.2.1.8 Wiederherstellen des Systems aus Recovery DVD.. 437
16.2.1.9 Netzwerkadressen aufnehmen.. 439
16.2.2 Installation des Betriebssystems.. 441
16.2.2.1 Backup der installierten Version zuerst ausführen.. 442
16.2.2.2 Installation der GUI.. 443
16.2.3 Wiederherstellen der Daten.. 447
16.2.3.1 Wiederherstellen der Halcon Lizenz.. 447
16.2.3.2 Auswählen des SWS Stellplatzes.. 449
16.2.3.3 Wiederherstellen der Netzwerkadressen.. 452
16.2.3.4 Wiederherstellen der Prozessdaten per GUI.. 463
16.2.3.5 Wiederherstellen der Kalibrierdaten per GUI.. 465
16.2.3.6 Wiederherstellen der Backups per Linux Konsole.. 467
16.2.3.7 Wiederherstellen der Daten aus Bugreport.. 470
16.2.4 Touchscreen kalibrieren.. 470
16.3 Installation einer neuen Softwareversion (GUI).. 471
16.4 Wiederherstellung alter Softwareversionen (GUI).. 471
17 Tipps und Tricks.. 477
17.1 Z-Achse Die-Ejector im ausgeschalteten und ausgebauten SWS nach unten bewe-
gen..
477
17.2 Wafer-Changer Kalibrier-Probleme.. 480
17.3 Wafer werden im Magazin am falschen Slot erkannt.. 482
18 Anhang.. 483
18.1 Spezifikation: Not-Aus.. 483
18.1.1 Schaltelemente.. 483
18.1.2 Externe Verbindung zur SIPLACE.. 483
10 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Inhaltsverzeichnis
18.1.3 Kontrolle Input / Output.. 483
18.1.4 Funktionsbeschreibung.. 484
18.1.4.1 Not-Halt.. 484
18.1.5 Not-Aus-Erweiterung an der SIPLACE.. 485
18.2 Spezifikation: Power-Versorgung.. 486
18.2.1 Versorgungs- und Schaltelemente.. 486
18.2.2 Allgemeiner Aufbau der Power-Versorgung.. 486
18.2.3 Transformator-T1 mit Gleichrichtung und Anschlüssen.. 487
18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung.. 488
18.3.1 Konzept Motorsteuerung.. 488
18.3.1.1 Bestückvarianten der Motorsteuerung.. 488
18.3.2 Motor-Controller DMC-18x6.. 489
18.3.3 Servoverstärker AMP-19540(20).. 489
18.3.4 Signalverfolgung Motor 1-10.. 489
18.3.5 Motor/Encoder-Spezifikation:.. 490
18.3.5.1 Motor-1(A) = Wafertisch-X.. 490
18.3.5.2 Motor-2(B) = Wafertisch-Y.. 490
18.3.5.3 Motor-3(C) = Die-Ejector Tool-Changer.. 490
18.3.5.4 Motor-4(D) = Die-Ejector Needle.. 491
18.3.5.5 Motor-5(E) = Flip-Rotate.. 491
18.3.5.6 Motor-6(F) = Flip-Z (Pick-up) Motor-8(H) = Flip-X (Hand-over).. 491
18.3.5.7 Motor-7(G) = Rotate Die-Attach.. 492
18.3.5.8 Motor-9(A) = Wafer-Magazin-Lift.. 492
18.3.5.9 Motor-10(B) = Wafer-Handler.. 492
18.3.6 Limit/Home-Sensoren mit Initialisierung.. 492
18.3.6.1 Initialisierungsablauf für Wafertisch - X/Y MOT1(A) MOT2(B).. 492
18.3.6.2 Initialisierungsablauf für Die-Ejector-Needle MOT4(D).. 493
18.3.6.3 Initialisierungsablauf für Flip-Rotor MOT5(E).. 493
18.3.6.4 Initialisierungsablauf für Flip-Z (Pick-up) MOT6(F).. 493
18.3.6.5 Initialisierungsablauf für Flip-X (Hand-over) MOT8(H).. 494
18.3.6.6 Initialisierungsablauf für Die-Attach-Rotate MOT7(G).. 494
18.3.6.7 Initialisierungsablauf für Wafer-Magazinlift MOT9(A).. 494
18.3.6.8 Initialisierungsablauf für Wafer-Handler MOT10(B).. 495
18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT.. 495
18.4.1 Steuerplatinen Input/Output.. 495
18.4.2 Aufbau des DMC-18x6 I/O-System.. 496
18.4.2.1 Signalverfolgung DMC-18x6.. 497
18.4.3 Steuerplatine USB-IO Rev.1(2) (150 x 65mm), Einbauort: Flip-Unit.. 499
18.4.4 USB-IO generelle Beschreibung.. 499
18.4.5 Select-Liste DMC-IN/OUT.. 500
18.4.6 Select-Liste USB-IO.. 502
18.5 Touch-Down-Sensor Rev.1.. 503
18.5.1 Funktionsbeschreibung.. 503
18.5.2 Elektrische Anschlüsse.. 503
18.5.3 Funktionsablauf.. 503
18.5.3.1 Höhenmessung Pipette 1 oder 2 in Z-Hub.. 503
18.5.3.2 Abstands-Messung - Pipette-1 in X-Hub:.. 504
18.5.3.3 Höhenmessung Nadel - Die-Ejector:.. 504
18.5.4 Funktionsablauf - Programm USB-IO.. 505
18.5.5 Testprogramm Motorsteuerung.. 505
18.6 Waferheizung.. 506
18.6.1 Funktionsbeschreibung.. 506
18.6.2 Schaltelemente.. 506
18.6.3 Elektrische Anschlüsse und Ansteuerung.. 506