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18 Anhang 18.6 Waferheizung 508 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 18.6.6 Temperaturanzeige: Menüanzeige: "Temperatur Wafer-Heater" in 1 C° Schritten.

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18 Anhang
18.6 Waferheizung
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 507
Für ein Überhitzen des Heizsystems ist ein Temperatur-Sicherheitsschalter integriert.
Während der Wafer auf dem Weg zur Ausgangs-Heizposition ist, kann die Heizung schon aktiviert
werden. Die Heizung braucht ca. 2 Sekunden Anheizzeit.
Nach ca. 3 bis 5 Sekunden hat sich die optimale Temperatur unter dem Wafer verbreitet.
Um ein Überhitzen des Wafers zu vermeiden, wird anschließend ein Heizkreis gepulst angesteuert.
In einer Frequenz von 100ms wird am Heizkreis-2, K10 (OUT1.7) die Leistung ein- und ausge-
schaltet.
Die Heizleistung steigt und sinkt in dem Verhältnis der Ein- und Ausschaltzeit. Damit wird eine
Leistungsabgabe von 1000W bis 2000W realisiert.
Die gesamte Heizzeit ergibt sich mit der Fahrgeschwindigkeit der X/Y-Achsen.
Nach der Abschaltung der Heizung ist ein abnehmendes Nachheizen von ca. 2 Sekunden gege-
ben. Der Wafer kann nach dem Heizen mit dem Lüfter abgekühlt werden.
Der Schütz K8 bleibt dabei eingeschaltet. Die Kühlzeit (0ms bis 5000ms) wird nach der Abschal-
tung der Heizrelais K9 / K10 gestartet.
18.6.4 Temperaturkontrolle
Die Temperatur der Waferheizung wird mit einem NTC-Widerstand (Typ: Epcos B57560-
G103F(10K)) gemessen. Mit dieser Messung ist eine hundertprozentige Überwachung der Funktio-
nalität des Lüfters und der beiden Heizspiralen gegeben.
Der NTC ist möglichst in der obersten mittigen Position am Luftstrom-Auslass der Waferheizung zu
integrieren. Die NTC-Befestigung und die elektromechanischen Anschlüsse müssen noch festge-
legt werden.
Das analoge Signal des NTC wird in der USB-IO-Platine (Eingang AI8) ausgewertet.
(Umrechnungsformel: "Aktuell-C°" = ("Aktuell-count" - 570) : 15,37 + 23C°, siehe Dokument "Dia-
gramm NTC-Widerstand")
Die Messung der Temperatur wurde mit dem Temperatur-Messgerät "TESTO-610" gemessen.
Gleichzeitig wurde der analoge Wert AI8 in count des NTC ausgelesen.
Die analoge Eingangsspannung AI8 ist gleichzeitig die Erkennung, dass die Waferheizung be-
triebsbereit ist. Ist die Waferheizung mit den NTC nicht angeschlossen, dann ist die analoge Ein-
gangsspannung Null, das entspricht ein "Aktuell-C°" von Minus 14C°.
Eine Darstellung der dynamischen Zeitkonstante NTC finden Sie ist im Dokument "Wafer-Heater
timing-diagram".
Die Messungen wurden mit verschiedenen Heizleistungen und Einschaltzeiten durchgeführt. Die
maximale Ausgangstemperatur ist ca. 83C°.
Zwei Messungen wurden unterhalb an der Waferfolie aufgezeichnet. Der NTC wurde mittig unter-
halb am Wafer aufgeklebt.
18.6.5 Menüpunkte
1. Fahrgeschwindigkeit der Motoren Wafer-X/Y:
Für alle gebräuchlichen Wafer- und Folien-Typen müssen optimale Fahrgeschwindigkeiten für den
Wafer über der Heizung realisiert werden. Die gesamte Fahrzeit entspricht der Heizzeit.
Menüeingabe von 5 Sekunden bis 15 Sekunden, in Sekunden-Schritten.
2. Anheizzeit:
Um einen schnellstmöglichen Temperaturaufbau zu erreichen ist eine Anheizzeit mit voller Leis-
tung erforderlich.
Menüeingabe von 2000ms bis 10000ms, in 100ms-Schritten.
3. Heizleistung:
Menüeingabe von 1000W bis 2000W, in 100W-Schritten.
4. Kühlzeit:
Menüeingabe von 0ms bis 5000ms, in 100ms-Schritten.
18 Anhang
18.6 Waferheizung
508 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
18.6.6 Temperaturanzeige:
Menüanzeige: "Temperatur Wafer-Heater" in 1 C° Schritten.