00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第320页
12 Wafer-Stretcher 12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen 320 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Sensoren in die 12" Waferaufnahme einbauen Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montage…
12 Wafer-Stretcher
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 319
Sensoren auf die Montagewinkel für 12" montieren
Abb.444: Wafer-Aufnahme - Sensor 1
1. Montagewinkel
2. Sensor auf Montagewinkel montiert
Abb.445: Wafer-Aufnahme - Sensor 2
1. Montagewinkel
2. Sensor auf Montagewinkel montiert
► Montieren Sie die beiden Sensoren (2) auf die Montagewinkel (1) aus dem 12" Nachrüstsat-
zes.
12 Wafer-Stretcher
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
320 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Sensoren in die 12" Waferaufnahme einbauen
Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.
Abb.446: Wafer-Aufnahme - Sensoren montieren
► Stellen Sie die elektrischen Verbindungen der Sensoren wieder her.
► Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.
12 Wafer-Stretcher
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 321
Klotz auf Klemmung montieren
Abb.447: Wafer-Aufnahme - Klotz für Klemmung montieren
► Montieren Sie den Klotz (2) aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Klemmung (1).
Abdeckblech montieren (nur bei 12" Waferaufnahme)
Abb.448: Wafer-Aufnahme - Abdeckblech montieren
► Montieren Sie das Abdeckblech (1) mit vier Schrauben auf die Waferaufnahme.