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12 Wafer-Stretcher 12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 327 Lichtstrahl bei zu weit durchhängender Waferfolie unterbrochen Abb.456: ● Der Lichtstrahl vom Sender S (1…

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12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
326 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.454:
Ist der Wert der Lichtintensität am Empfänger R (rote Anzeige (2)) kleiner als der eingestellte
Schaltschwellen-Wert (grüne Anzeige (1)), dann gilt Folgendes:
●
Der Lichtstrahl ist soweit unterbrochen und es besteht Gefahr, dass die Waferfolie an der Ba-
siseinheit streift.
●
Kein Signal (OUT leuchtet nicht Orange (3)) wird ausgegeben und der Wafer darf nicht vom
Gripper in den Waferlift gezogen werden.
12.8.1.3 Erklärung der Lichtintensität in Verbindung mit dem Foliendurchhang
Lichtstrahl nicht unterbrochen
Abb.455:
●
Der Sender S (1) und der Empfänger R (2) sind knapp über dem Expansionsring (Ring) mon-
tiert.
●
Der Lichtstrahl vom Sender S (1) wird nicht komplett ausgestrahlt, da aufgrund der Freiraum-
höhe zum Waferwechsel der Sender S (1) nicht zu hoch sein darf.
●
Deswegen tritt nicht der komplette Lichtstrahl vom Sender aus und wird vom Expansionsring
abgelenkt oder blockiert.
●
Aufgrund der Streuung des Lichtstrahls kommt am Empfänger R (2) ein gewisser Prozentsatz
an Lichtintensität (I) im Verhältnis zum ausgesendeten Lichtstrahl an.
●
Bei optimaler Einstellung und Ausrichtung zwischen Sender S (1) und Empfänger R (2) ist
hiermit die Anzeige an der Auswerteeinheit für die Lichtintensität maximal (absolut).
●
Ziel beim mechanischen Ausrichten des Sender S zum Empfänger R ist hier der höchste zu
erreichende Wert der empfangenen Lichtintensität.
●
Dieser Wert wird als 100% angesehen.
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Lichtstrahl bei zu weit durchhängender Waferfolie unterbrochen
Abb.456:
●
Der Lichtstrahl vom Sender S (1) zum Empfänger R (2) wird unterbrochen.
●
Die Waferfolie (3) hängt nach dem Ende des Stretch-Vorgangs durch.
●
Je nachdem wie weit die Folie durchhängt, unterbricht sie den Lichtstrahl des Senders S.
●
Der maximal erlaubte Durchhang der Waferfolie ist 1mm.
●
Hängt die Waferfolie weiter durch (= die Folie ist näher als 1mm am Expansionsring), so darf
der Wafer nicht mit dem Greifer in den Waferlift gezogen werden.
●
Durch die Unterbrechung des Lichtstrahls kommt nicht das komplette Licht am Empfänger R
(2) an.
●
Am Empfänger R (2) wird somit eine geringere Lichtintensität (I) empfangen.
●
Beim Einstellen der Schaltschwelle muss ein Foliendurchhang mit einem Folienabstand zum
Expansionsring von 1mm simuliert werden. Dies entspricht einem Foliendurchhang von ca.
9mm!
●
Bei diesem simulierten Foliendurchhang wird dann die Schaltschwelle an der Auswerteeinheit
Sensick WLL180T kalibriert.
●
Dieser Wert wird in der Auswerteeinheit als Schaltschwellen-Wert (grüne Anzeige) absolut
angezeigt.
●
Dies bedeutet:
– Hängt die Waferfolie soweit durch, dass der Abstand zum Expansionsring <1mm ist, so
wird an der Auswerteeinheit ein kleinerer Lichtintensitätswert (Rot) als der Schaltschwel-
len-Wert (Grün) angezeigt. → OUT nicht aktiviert → Wechsel nicht erlaubt.
– Hängt die Waferfolie soweit durch, dass der Abstand zum Expansionsring >1mm ist, so
wird an der Auswerteeinheit ein größerer Lichtintensitätswert (Rot) als der Schaltschwel-
len-Wert (Grün) angezeigt. → OUT aktiviert → Wechsel erlaubt.
12.8.2 Mechanisches Einstellen des Durchhang-Sensor IN19
12.8.2.1 Benötigte Materialien und Hilfsmittel
●
1x Demontiertes Expansionsblech
Oder
1x stabiles Blech oder Vierkant-Material Länge <500mm (darf sich nicht durchbiegen)
●
2x 1mm-Blech mit den Dimensionen L=200mm, B=30mm, D=1mm
Oder
2x gefaltetes Papier in den Dimensionen L=200mm, B=30mm, D=1mm
●
1x Messschieber
●
1x Inbusschlüssel 3mm (T-Griff o.ä.)
●
1x gekürzter Inbusschlüssel 3mm zum Entfernen der Schrauben des Senders von oben
●
1x Fühlerlehre oder Blech mit 0,1mm
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12.8.2.2 Vorbereitende Tätigkeiten
► Fahren Sie den Tisch in die Wechselposition (GUI-Funktion).
► Fahren Sie das Expansionsblech nach oben (GUI-Funktion).
► Senken Sie den Expansionsring ab. → Expansionsring in unterster Position (GUI-Funktion).
► Stellen Sie sicher, dass der Die-Ejector abgesenkt ist.
► Schalten Sie das SWS sowie die SIPLACE CA aus.
► Bauen Sie das SWS aus.
► Entfernen Sie die beiden Expansionsbleche.
► Schließen Sie das SWS an die Stromversorgung an.
► Ein Luftanschluss wird nicht benötigt.
► Schalten Sie das SWS ein.
Die folgenden Tätigkeiten können im Not-Aus-Betrieb durchgeführt werden.
12.8.2.3 Justage (Ausrichten) des Durchhang-Sensors
Abb.457:
Die Baugruppe Durchhang-Sensor liegt wie in der Abbildung vor. Die Expansionsbleche sind
demontiert.
1. Sender S
2. Empfänger R
3. Auswerteeinheit Sensick WLL180T