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7 Die-Ejector 7.3 Ersatzteile tauschen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 125 7.3.2 Ausbau der kompletten Die-Ejector-Unit aus dem SWS Benötigte Werkzeuge ● Standard Sechskantschraubendreher-Satz ● T-Sch…

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7 Die-Ejector
7.3 Ersatzteile tauschen
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Abb.135:
► Fahren Sie die SWS Software herunter.
► Schalten Sie das SWS am Hauptschalter aus.
► Bauen Sie das SWS aus (siehe 4.1 "SWS ausbauen" [}59]).
HINWEIS
► Falls nach dem Ausbau des SWS aus der CA-Maschine dennoch festgestellt wird,
dass der Die-Ejector in Position "Oben (Top)" ist, dann lesen Sie Abschnitt 17.1 "Z-
Achse Die-Ejector im ausgeschalteten und ausgebauten SWS nach unten bewe-
gen" [}477]).
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7.3.2 Ausbau der kompletten Die-Ejector-Unit aus dem SWS
Benötigte Werkzeuge
●
Standard Sechskantschraubendreher-Satz
●
T-Schlüssel Inbus Gr. 5
●
Kleiner Schraubendreher
Voraussetzungen
●
SWS aus Maschine ausgebaut.
●
SWS von Stromversorgung abgesteckt
Vorgehensweise
Abb.136:
► In der angefahrenen Wechselposition verdeckt der Wafertisch immer noch zwei der Befesti-
gungsschrauben(1) der Die-Ejector Grundplatte.
Daher muss von Hand der Wafertisch in Richtung Waferlift(2) geschoben werden, bis die
Schrauben zugänglich sind.
VORSICHT
Die-Ejector abgesenkt?
► Achten Sie vor Verschieben des Wafertisches immer darauf, dass der Die-Ejector ab-
gesenkt ist.
WARNUNG
Verletzungsgefahr der Hände
Beim manuellen Verschieben des Wafertisches besteht immer eine Verletzungsgefahr
durch Einklemmen der Hände.
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Abb.137:
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben(1) der Grundplatte des Die-Ejectors (Inbus5).
Die Omega-Feder zieht die Grundplatte gegen die Exzenterwelle(3) X‑Richtung. Entfernen Sie die
Omega-Feder (2) wie folgt:
Abb.138:
► Mithilfe eines kleinen Schraubenziehers hebeln Sie an der Kante(4) die Omega-Feder (3)
nach oben(5).
► Entnehmen Sie die Omega-Feder nach oben.