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12 Wafer-Stretcher 12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19 328 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 12.8.2.2 Vorbereitende Tätigkeiten ► Fahren Sie den Tisch in die Wechselposition (GUI-Funktion). ► Fahren …

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12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 327
Lichtstrahl bei zu weit durchhängender Waferfolie unterbrochen
Abb.456:
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Der Lichtstrahl vom Sender S (1) zum Empfänger R (2) wird unterbrochen.
●
Die Waferfolie (3) hängt nach dem Ende des Stretch-Vorgangs durch.
●
Je nachdem wie weit die Folie durchhängt, unterbricht sie den Lichtstrahl des Senders S.
●
Der maximal erlaubte Durchhang der Waferfolie ist 1mm.
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Hängt die Waferfolie weiter durch (= die Folie ist näher als 1mm am Expansionsring), so darf
der Wafer nicht mit dem Greifer in den Waferlift gezogen werden.
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Durch die Unterbrechung des Lichtstrahls kommt nicht das komplette Licht am Empfänger R
(2) an.
●
Am Empfänger R (2) wird somit eine geringere Lichtintensität (I) empfangen.
●
Beim Einstellen der Schaltschwelle muss ein Foliendurchhang mit einem Folienabstand zum
Expansionsring von 1mm simuliert werden. Dies entspricht einem Foliendurchhang von ca.
9mm!
●
Bei diesem simulierten Foliendurchhang wird dann die Schaltschwelle an der Auswerteeinheit
Sensick WLL180T kalibriert.
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Dieser Wert wird in der Auswerteeinheit als Schaltschwellen-Wert (grüne Anzeige) absolut
angezeigt.
●
Dies bedeutet:
– Hängt die Waferfolie soweit durch, dass der Abstand zum Expansionsring <1mm ist, so
wird an der Auswerteeinheit ein kleinerer Lichtintensitätswert (Rot) als der Schaltschwel-
len-Wert (Grün) angezeigt. → OUT nicht aktiviert → Wechsel nicht erlaubt.
– Hängt die Waferfolie soweit durch, dass der Abstand zum Expansionsring >1mm ist, so
wird an der Auswerteeinheit ein größerer Lichtintensitätswert (Rot) als der Schaltschwel-
len-Wert (Grün) angezeigt. → OUT aktiviert → Wechsel erlaubt.
12.8.2 Mechanisches Einstellen des Durchhang-Sensor IN19
12.8.2.1 Benötigte Materialien und Hilfsmittel
●
1x Demontiertes Expansionsblech
Oder
1x stabiles Blech oder Vierkant-Material Länge <500mm (darf sich nicht durchbiegen)
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2x 1mm-Blech mit den Dimensionen L=200mm, B=30mm, D=1mm
Oder
2x gefaltetes Papier in den Dimensionen L=200mm, B=30mm, D=1mm
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1x Messschieber
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1x Inbusschlüssel 3mm (T-Griff o.ä.)
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1x gekürzter Inbusschlüssel 3mm zum Entfernen der Schrauben des Senders von oben
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1x Fühlerlehre oder Blech mit 0,1mm
12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
328 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
12.8.2.2 Vorbereitende Tätigkeiten
► Fahren Sie den Tisch in die Wechselposition (GUI-Funktion).
► Fahren Sie das Expansionsblech nach oben (GUI-Funktion).
► Senken Sie den Expansionsring ab. → Expansionsring in unterster Position (GUI-Funktion).
► Stellen Sie sicher, dass der Die-Ejector abgesenkt ist.
► Schalten Sie das SWS sowie die SIPLACE CA aus.
► Bauen Sie das SWS aus.
► Entfernen Sie die beiden Expansionsbleche.
► Schließen Sie das SWS an die Stromversorgung an.
► Ein Luftanschluss wird nicht benötigt.
► Schalten Sie das SWS ein.
Die folgenden Tätigkeiten können im Not-Aus-Betrieb durchgeführt werden.
12.8.2.3 Justage (Ausrichten) des Durchhang-Sensors
Abb.457:
Die Baugruppe Durchhang-Sensor liegt wie in der Abbildung vor. Die Expansionsbleche sind
demontiert.
1. Sender S
2. Empfänger R
3. Auswerteeinheit Sensick WLL180T
12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 329
Abb.458:
► Entfernen Sie die beiden Schrauben des Sender S.
Falls die Schrauben von der Seite nicht zugänglich sind verwenden Sie einen gekürzten
Inbusschlüssel von oben.
Abb.459:
► Verwenden Sie die Bezugsfläche (rot schraffiert) zum Ausrichten der Sender-Montagehöhe.