00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第291页

12 Wafer-Stretcher 12.4 Ausbau Wafer-Stretcher Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 291 Abb.400: ► Markieren Sie die Lage der Spindelmutter z.B. mit einem Stift (1) . ► Halten Sie die Spindelmutter fest …

100%1 / 510
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
290 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
► Heben Sie den Hubzylinder ab und entnehmen die Inbusschraube (1) und die Führungs-
buchse(2).
Abb.398:
► Schwenken Sie den Hubzylinder (1) zur Seite. Fädeln Sie bei Bedarf dabei auch die Verbin-
dung am Kolbenende aus.
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben (2) des Wafer-Stretchers vom darunterliegen-
den Führungswagen.
Auf dieser Seite des Wafer-Stretchers befindet sich noch die Verbindung zur Spindel in X-Rich-
tung. Um diese Verbindung zu lösen geht man wie folgt vor:
Abb.399:
► Entfernen Sie die vier Schrauben an der Spindelmutter (2) unterhalb des Klemmzylinders (1).
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 291
Abb.400:
► Markieren Sie die Lage der Spindelmutter z.B. mit einem Stift (1).
► Halten Sie die Spindelmutter fest (1) und drehen Sie die Spindel (2), so dass sich die Spindel-
mutter vom Mitnehmerblock des Wafertisches löst.
ODER
► Schieben Sie den Wafer-Stretcher mit der Hand von der Spindelmutter weg (3).
ð Nun sollte zwischen Spindelmutter und dem Mitnehmerblock ein Abstand sein.
Abb.401:
► Entfernen Sie die beiden Sechskant-Schrauben (1) mit einem Gabelschlüssel oder einer Rat-
sche.
ð Der Mitnehmerblock ist nun vom Wafertisch getrennt.
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
292 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
12.4.4 Demontage an Wafer-Wechsler-Seite
Abb.402:
► Schieben Sie den Wafer-Stretcher auf die andere Seite.
Achten Sie dabei auf Die-Ejector und Wafer-Wechsler (Greifer).
Abb.403:
► Schieben Sie den Wafer-Stretcher bis zum Ende.
► Entfernen Sie die sechs Befestigungsschrauben des Abdeckbleches (1).
► Nehmen Sie das Abdeckblech ab.
Folgende Verbindungen müssen wie folgt gelöst werden: