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7 Die-Ejector 7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position 150 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.184: (3) Y-Richtung → Verfahren der Grundplatte Richtung Waferlift (4) X-Richtung → Ver…

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7 Die-Ejector
7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 149
7.4.1 Ziel der mechanischen Justage der Nadelposition in X/Y-Richtung
Ziel ist es, dass der Kameramittelpunkt (Rotes Kreuz in Kamerabild) mit der Spitze der zentrischen
Nadel des Ausstechsystems übereinstimmt.
Im Idealfall sollte die Justage und die Kontrolle im eingebauten Zustand (SWS in der CA-Maschine)
stattfinden.
Wird die Justage im ausgebauten Zustand gemacht, so kann es sein, dass sich der Mittelpunkt
nach dem Einbau des SWS in die CA-Maschine verschiebt. Grund sind hierfür mechanische Ver-
spannungen.
Dann muss nach Einbau des SWS in die CA-Maschine die Nadelposition zur Kameramitte erneut
überprüft und gegebenenfalls nachjustiert werden.
7.4.1.1 Erklärung des Koordinatensystems
Abb.183:
(1) Mittelpunkt der Kamera (rotes Kreuz)
(2) Mittelpunkt der zentrischen Nadel im Ausstechsystem (kleiner heller Punkt in der zentrischen
Bohrung)
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7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position
150 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.184:
(3) Y-Richtung → Verfahren der Grundplatte Richtung Waferlift
(4) X-Richtung → Verfahren der Grundplatte Richtung SWS-Seiten
(5) Verstellschraube zum Verfahren der Grundplatte in Y-Richtung (Inbus 4mm)
(6) Verstell-Vierkantwelle zum Verfahren der Grundplatte in X-Richtung (Gabelschlüssel SW5)
7.4.1.2 Vorbereitende Tätigkeiten
► Schalten Sie den SWS ein und initialisieren Sie das System.
► Loggen Sie sich als SIPLACE Service ein.
Abb.185:
► Wechseln Sie in das Menü Wafer-Handling (1 bis 3).
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 151
Abb.186:
► Fahren Sie den Wafertisch in Wechselposition (4).
► Verlassen Sie dieses Menü in die Hauptansicht.
Abb.187:
► Wechseln Sie mit den Schritten (5) bis (7) in das Menü Die-Handling.