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16 Software 16.4 Wiederherstellung alter Softwareversionen (GUI) 476 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
16 Software
16.4 Wiederherstellung alter Softwareversionen (GUI)
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 475
Abb.735: Menü der Software Configuration
► Drücken Sie ESC.
Abb.736: Menü des Setup Tools
► Drücken Sie ESC.
Abb.737: Meldung: Verlassen des Setup Tools
► Bestätigen Sie YES mit Enter.
16 Software
16.4 Wiederherstellung alter Softwareversionen (GUI)
476 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
17 Tipps und Tricks
17.1 Z-Achse Die-Ejector im ausgeschalteten und ausgebauten SWS nach unten bewegen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 477
17 Tipps und Tricks
17.1 Z-Achse Die-Ejector im ausgeschalteten und
ausgebauten SWS nach unten bewegen
Falls nach Ausschalten und Ausbau des SWS die Z-Achse des Die-Ejectors noch in der Top-Posi-
tion ist, kann man diese Achse wie folgt in die Down-Position bringen:
Abb.738:
1. Die-Ejector in Top Position
2. Grundplatte
3. Pneumatikanschluss Die-Ejector