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12 Wafer-Stretcher 12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 315 12.7.3.3 Ausbau der 8" Waferaufnahme Niederhalter-Blech ausbauen Siehe hierzu auch die Absch…

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12 Wafer-Stretcher
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
314 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
12.7.3.2 Vorbereitungen
► Bitte führen Sie die Maßnahmen gemäß Abschnitt 12.3 "Vorbereitenden Maßnahmen zum Ar-
beiten am Wafer-Stretcher" [}282] durch.
► Beenden Sie alle laufenden Vorgänge am SWS-Modul.
► Fahren Sie den Wafertisch in die Wechselposition.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Wechsel-
position anfahren.
► Öffnen Sie die Klemmung.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Wafer-
Klemmung öffnen.
ð Die Klemmung wird geöffnet und der Expansionsring wird nach unten gefahren.
► Öffnen Sie den Expander.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Expander
loslassen.
ð Das Niederhalter-Blech wird nach oben gefahren.
► Wählen Sie in der Ansicht Produktion -> Sonstiges und betätigen Sie dort den roten Aus-
schalt-Button.
ð SWS GUI und Linux werden ordnungsgemäß beendet.
► Schalten Sie das SWS am Hauptschalter aus.
VORSICHT
Beschädigungen am Greifer vermeiden
Bei Arbeiten an der Waferaufnahme kann der Greifer beschädigt werden.
► Schieben Sie den Greifer in Richtung Waferlift und aus dem Arbeitsbereich der Wafer-
aufnahme.
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 315
12.7.3.3 Ausbau der 8" Waferaufnahme
Niederhalter-Blech ausbauen
Siehe hierzu auch die Abschnitte 12.4 "Ausbau Wafer-Stretcher" [}284] und 12.6 "Einbau Wafer-
Stretcher" [}297].
Es muss das Niederhalter-Blech für die jeweilige Waferaufnahme ausgetauscht werden.
Abb.440: Wafer-Aufnahme - Niederhalter-Blech ausbauen
► Stecken Sie das Hilfstool zur Fixierung der Hubkolben (2) in die Öffnung und fixieren Sie
damit den innen liegenden Hubkolben.
► Entfernen Sie nacheinander die jeweils vier Schrauben (1) an den beiden Niederhalter-Ble-
chen(4).
► Entnehmen Sie die konische Fixierscheibe (3). Achten Sie darauf, dass Sie diese für den spä-
teren Wiedereinbau nicht verlieren.
► Entnehmen Sie die beiden Niederhalter-Bleche (4).
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12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
316 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Klemmung lösen
Abb.441:
► Entfernen Sie den Sprengring an der Welle (2) der Klemmung (1).
► Hängen Sie die Klemmung aus, so dass der Klemmhebel (3) frei ist (4).