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15 Kalibrierung 15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit 382 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.540: ► Wählen Sie Service Calibration Z axis in der rechten Menüleiste. Abb.541: ► Wählen Sie Start…

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15 Kalibrierung
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 381
Abb.538:
► Die Flip-Drehachse wird bis zu einem Timeout verfahren, wenn das Lager eines Segments
den Betätiger der Z‑Achse berührt. Diese Position der Drehachse wird gespeichert.
Abb.539:
► Danach verfährt die Z-Achse in die entgegengesetzte Richtung, bis das Lager eines anderen
Segmentes den Betätiger der Z‑Achse berührt. Diese Position wird ebenfalls gespeichert.
► Aus diesen beiden Positionen der Flip-Drehachse wird der Durchschnittswert berechnet und
so die Grundstellung der Flip-Drehung definiert.
15.3.2.3 Kalibrierung - Flip-Kopf-Z-Achse
KEINE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus ist nicht aktiviert!
Maschinenhauben sind geschlossen!
Diese Kalibrierung ermittelt den korrekten Nullpunkt der Flip-Kopf-Z-Achse in Bezug auf den
Laufring der Flip-Kopf-Drehachse.
Nach der Kalibrierung ist die Flip-Kopf-Z-Achse exakt in Bezug auf den Laufring positioniert, so
dass während der Drehung kein Effekt auf die Z‑Achse besteht und es letztlich keine Abweichung
des Kugellagers gibt.
15 Kalibrierung
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit
382 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.540:
► Wählen Sie Service Calibration Z axis in der rechten Menüleiste.
Abb.541:
► Wählen Sie Start Calibration.
ð Die vollständige automatische Kalibrierung der Z-Achse startet.
► Während der automatischen Kalibrierung ist der Status Execute aktiv.
15 Kalibrierung
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 383
Abb.542:
► Nach erfolgreicher automatischer Kalibrierung der Z-Achse ändert sich der Status in Ready.
► Der kalibrierte Wert für Nullpunktkorrektur der Z-Achse wird in Home position of Z axis (µm)
angezeigt.
Wie die automatische Kalibrierung der Flip-Kopf-Z-Achse funktioniert
●
Der Haltezylinder der Z-Achse wird als Start-Grundstellung für die Z-Achse verwendet.
●
Die Flip-Drehachse wird in die Grundstellung verfahren.
●
Die Flip-Drehachse wird um einen definierten Wert nach rechts gedreht.
Abb.543:
●
Die Z-Achse wird nach unten verfahren bis zum Timeout, wenn das Lager ein Segment be-
rührt.
●
Dieser Z-Wert wird gespeichert.