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18 Anhang 18.1 Spezifikation: Not-Aus 484 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 18.1.4 Funktionsbeschreibung Nach dem Einschalten des SWS erfolgt die Aktivierung des Not-Aus-Schaltgerätes K3 nur unter den B…

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18.1 Spezifikation: Not-Aus
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 483
18 Anhang
18.1 Spezifikation: Not-Aus
18.1.1 Schaltelemente
●
Not-Aus-Schaltgerät (K3) 3TK28-21-1CB30 / DC24V / Autostart / 3S / 1Ö
●
Not-Aus-Pilzdrucktaster / d = 40mm / Drehentriegelung / 1S / 2Ö
●
Relais 24VDC (K4) zum Not-Aus zurücksetzen mit Programm (Set-Output-1)
●
Kontroll-Lampe für Aus/Ein-Funktion Not-Aus
●
Relais 24VDC (K5) Feeder-Anwesenheit - Signal > Set-Output 16
●
2 Leistungsschütze (K1, K2), Spule 24VDC / Schaltleistung 25A / mit Hilfsbaustein
●
1 Zeitrelaisblock Rückfallverzögert (500ms), Aufsteckbar auf Leistungsschütz K1
Externe SWS-Service-Box [03075503‑xx] (Anschluss am Stecker X1x3)
●
Not-Aus-Pilzdrucktaster / d = 40mm / Drehentriegelung / 1Ö
●
Start-Taster mit Lampe (weiß = Betriebsanzeige) zum Not-Aus zurücksetzen
●
Relais-24VDC / 1S für externe Not-Aus-Selbsthaltefunktion
18.1.2 Externe Verbindung zur SIPLACE
X113 = Stellplatz-1
X123 = Stellplatz-2
X133 = Stellplatz-3
X143 = Stellplatz-4
Wago-Stecker, 12polig, Typ 721-612
●
Pin-1 = Ground Extern >> PE-Feeder
●
Pin-2 = +24V / Extern
●
Pin-3 = SIPLACE-Not-Halt-Schleife Eingang
●
Pin-4 = SIPLACE- Not-Halt-Schleife Ausgang
●
Pin-5 = SWS- Not-Halt-Schleife Ausgang
●
Pin-6 = SWS- Not-Halt-Schleife Eingang
●
Pin-7 = Feeder-Anwesenheits-Signal (+24V / Extern vom K5)
●
Pin-8 = keine Funktion
●
Pin-9 = Not-Halt-Meldung (+24V / Extern) vom Feeder zur SIPLACE > Input
●
Pin-10 = keine Funktion
●
Pin-11 = keine Funktion
●
Pin-12 = keine Funktion
18.1.3 Kontrolle Input / Output
●
Input 1 = 1 > Not-Aus-Pilzdrucktaster SWS = nicht gedrückt
●
Input 16 = 1 > Not-Aus-Schleife SWS für Schaltgerät K3 ist geschlossen
●
Input 1 = 0 / IN16 = 0 > Not-Aus-Aktivierung vom Die-Feeder (Intern)
●
Input 1= 1 / IN16 = 0 > Not-Aus-Aktivierung vom SIPLACE (Extern)
●
Input 15 = 1 > Schütze K1/K2 = ein, 48VDC-Kontrolle für die Motor-Amplifier = OK
●
Output 1 = K4 (ein/aus 150ms) > Not-Aus zurücksetzen > Start SWS
●
Output 16 = 1 > K5 = Ein, Feeder-Present-Signal an die SIPLACE
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18.1 Spezifikation: Not-Aus
484 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
18.1.4 Funktionsbeschreibung
Nach dem Einschalten des SWS erfolgt die Aktivierung des Not-Aus-Schaltgerätes K3 nur unter
den Bedingungen:
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Not-Halt-Schleife SWS ist geschlossen > Not-Aus-Taster SWS ist deaktiviert.
●
Not-Halt-Schleife SIPLACE ist geschlossen > Haube geschlossen, Starttaste gedrückt.
●
Dabei sind die Ausgangszustände der Eingänge IN1 und IN16 auf Eins.
Anschließend wird die Reset/Start-Schleife geschlossen über das Aktivieren des Start-Relais K4
Set-Output1 (ein/aus 150ms).
Das aktivierte Not-Aus-Schaltgerät K3 schaltet die Schütze K1/K2 ein (24VDC-Spule).
Über die Schützkontakte K1/K2 (25A) wird die Zwischenkreisspannung 48VDC zu den Motorleis-
tungsstufen DMC-19540(20) bereitgestellt.
Die Motorspannung wird erst anschließend über das Motorcontroller-Enable-Signal aktiviert. Das
Signal ABORT (Motor-Amplifier DMC-19540(20)) wird über K2-Öffner deaktiviert.
Ist Not-Aus aktiviert, ist der Kontakt ABORT gegen GND/K2 geschlossen.
Die Betriebsbereit-Lampe (weiß) wird mittels Not-Aus-Schaltgerät eingeschaltet.
Eine 24VDC-Not-Aus-Spannung wird über die Schütze K1 auf Klemme X3-17 bereitgestellt.
Über einen Schließer K2 wird das Hauptventil-Druckluft Y1/PRS für den Die-Ejector Z-Hub einge-
schaltet.
Bei Not-Aus-Aktivierung ist der Kontakt geöffnet und die Druckluft (DE Z-Hub) ausgeschaltet.
Die Druckluftventile der Zylinder für Tool-Z (Pick-Up) und Tool-X (Die-Attach-Unit) werden bei Not-
Aus über die Schütze K1 und K2 ausgeschaltet. Bei Not-Aus-Funktion sind die Antriebe ausge-
schaltet und die Tools werden mittels Federkraft in einer gesicherten Position gehalten.
Das Signal GND/K2, das bei Not-Aus über K2 geöffnet ist, schaltet den Bremsmagneten für die
Funktion Waferlift aus. Die Bremse ist dann aktiv und der Waferlift wird in Position gehalten.
Ist das Not-Aus-Schaltgerät aktiviert, sind drei Signalmeldungen Eins = 24VDC.
●
IN1 = Not-Aus-Taster
●
IN16 = Not-Aus-Schleife SWS
●
IN15 = 48 V DC-Kontrolle für die Motor-Amplifier > Signalbereitstellung in Reihe über K1/K2
und Optokoppler OK6.
Bei Not-Aus schalten die Schütze K1/K2 µm 500ms verzögert aus. Dadurch hat die Steuerung
eine Restlaufzeit für eine kontrollierte Stopp-Funktion.
18.1.4.1 Not-Halt
1. Fall: Not-Halt mit Pilzdrucktaster SWS
Die Not-Halt-Schleife SIPLACE und Not-Halt-Schleife SWS werden unterbrochen, und die jeweils
dazugehörigen Not-Aus-Schaltgeräte schalten die Leistungsschütze (verzögert 500ms) aus.
Die Signalmeldungen (IN1 = Not-Aus-Taster, IN16 = Not-Aus-Schaltgerät, IN15 = 48VDC über K1/
K2) werden Null.
Die Betriebsbereit-Lampe (weiß) wird ausgeschaltet.
Die Not-Halt-Meldung wird für die SIPLACE am Stecker X1x3 (+24V / Extern = Pin-2 und Not-Aus
Meldung = Pin-9) über den Pilzdrucktaster unterbrochen. Daran erkennt die SIPLACE, an welchem
Stellplatz der Not-Halt-Taster gedrückt wurde.
Not-Halt zurücksetzen
1. Der Not-Aus-Pilzdrucktaster muss zuerst entriegelt werden (Drehentriegelung).
Die Signalmeldung (IN1 = Not-Aus-Taster) wird Eins.
Die Not-Halt-Schleife der SIPLACE muss geschlossen werden. Dabei ist die Haube geschlos-
sen, die Starttaste wird gedrückt und danach wird IN16 Eins.
2. Nach der Erkennung der Run-Bereitschaft des Die-Feeders (IN1 = 1, IN16 = 1) wird das Re-
lais-Start K4 (OUT1>150ms) ein/aus geschaltet.
Das Not-Aus-Schaltgerät K3 wird dabei aktiviert und schaltet die Schütze K1/K2 ein.
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18.1 Spezifikation: Not-Aus
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 485
2. Fall: Not-Halt mit Pilzdrucktaster-SIPLACE oder SIPLACE-Haube geöffnet
Die Not-Halt-Schleife SIPLACE wird unterbrochen und schaltet das Not-Aus-Schaltgerät SIPLACE
aus. Über das Not-Aus-Schaltgerät SIPLACE wird die Not-Halt-Schleife SWS unterbrochen.
Die SWS-Leistungsschütze K1/K2 werden über das Not-Aus-Schaltgerät verzögert (500ms) aus-
geschaltet.
Die Signalmeldung IN16 wird sofort Null (Signalmeldung IN1 bleibt Eins). Die Betriebsbereit-Lampe
(weiß) wird ausgeschaltet.
Not-Halt zurücksetzen
Die Not-Halt-Schleife der SIPLACE muss geschlossen werden, Not-Aus-Taster deaktivieren, dabei
ist die Haube geschlossen, die Starttaste wird gedrückt, danach wird IN16 Eins.
Nach der Erkennung der Run-Bereitschaft des Die-Feeders (IN1 = 1, IN16 = 1) wird das Relais-
Start K4 (OUT1 >150ms) ein-/ausgeschaltet.
Das Not-Aus-Schaltgerät K3 wird dabei aktiviert und schaltet die Schütze K1/K2 ein.
3. Fall: Not-Aus-Funktion des SWS bei der Inbetriebnahme ohne SIPLACE
HINWEIS
Nur für SIPLACE-Service-Personal, externe Service-Box ist angeschlossen, Stecker X1x3.
Für die Inbetriebnahme des SWS (ohne SIPLACE) wird die externe Not-Halt-Funktion mittels Ser-
vice-Box simuliert.
Die Not-Aus-Funktionen intern und extern (Service-Box) bleiben dabei erhalten.
Bei Betätigung der Starttaste (Service-Box) wird über das Relais (Selbsthaltefunktion) die interne
Not-Aus-Schleife geschlossen. Die beiden Not-Aus-Taster (intern und extern) müssen dabei vorab
entriegelt sein.
Nach der Erkennung der geschlossenen Not-Aus-Schleife des Die-Feeders (IN1 = 1, IN16 = 1)
wird das Relais-Start K4 (OUT1>150ms) ein/aus geschaltet.
Das Not-Aus-Schaltgerät K3 wird dabei aktiviert und schaltet die Schütze K1/K2 ein.
Bei Not-Aus-Betätigung (Not-Aus-Taster intern oder extern) schalten die Schütze K1/K2 um
500ms verzögert aus.
18.1.5 Not-Aus-Erweiterung an der SIPLACE
Stellplatz 1, Stecker X113
Stellplatz 3, Stecker X133
Fehlende Signale:
●
Pin-5 = SWS-Not-Halt-Schleife Ausgang
●
Pin-6 = SWS-Not-Halt-Schleife Eingang
●
Pin-9 = Not-Halt-Meldung SWS zur SIPLACE > Input
An den Stellplätzen 1 und 3 kann der Die-Feeder oder MTC kein Not-Aus-Signal von der SIPLACE
empfangen. Die externe Not-Halt-Schleife fehlt.
Die Not-Halt-Meldung (Interne Abfrage) für die SIPLACE vom Stellplatz 1 und 3 fehlt.
Aktion:
Die Not-Halt-Schleife in der SIPLACE wird mit den Schaltgerät 3TK2830-1CB30 für die Stellplätze
1 und 3 erweitert.
Elektrischer Schaltplan siehe Dokument Nr.: "EMG_SIPLACE".