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7 Die-Ejector 7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus) 162 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.206: ► Überprüfen Sie die schwarze Nadelkappe. Diese muss komplett auf dem …

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7 Die-Ejector
7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 161
7.5.1.4 Nadel-Ausstecheinheit auf Dichtheit prüfen
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Service Settings => Main vacuum
control system (siehe 14.1 "SWS GUI - Service Settings" [}363]).
► Das Main vacuum soll zwischen 740 und 840 mbar betragen.
► Legen Sie eine Folie auf das Ausstechsystem, so dass alle Öffnungen verschlossen sind.
► Schalten Sie nun das Vakuum am Die-Ejector ein.
► Aktivieren Sie Vacuum valve ejection unit opened.
ð Die Folie wird vom Ausstechsystem angesaugt.
ð Das Main vacuum soll möglichst den vorher angezeigten Wert erreichen (d.h. keine Ver-
luste).
Fehlersuche bei Undichtigkeit
► Schalten Sie das Vakuum am Die Ejector ein (Software) und überprüfen Sie mit dem Finger
die Ansaugkraft an der Dichtlippe(2).
► Überprüfen Sie, ob die Vakuumzuleitung knickfrei ist.
Abb.205:
► Führen Sie eine visuelle Überprüfung der Dichtlippe (2) auf Beschädigungen durch und tau-
schen Sie diese ggf. aus (siehe 7.5.1.5 "Austausch der Dichtungseinheit und des O-Ringes an
der Zentriereinheit des Die-Ejectors" [}163]).
► Überprüfen Sie den Magneten (3) auf Fremdkörper.
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7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)
162 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.206:
► Überprüfen Sie die schwarze Nadelkappe. Diese muss komplett auf dem Grundkörper des
Ausstechsystems aufsitzen.
(4) Spalt → Vakuumleckage → schlecht
(5) Kein Spalt → gut
Abb.207:
► Überprüfen Sie die geschliffene Dichtfläche und die Vakuumbohrung(1) des Ausstechsys-
tems auf Beschädigungen und Verunreinigungen.
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7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 163
7.5.1.5 Austausch der Dichtungseinheit und des O-Ringes an der Zentriereinheit des Die-
Ejectors
Folgende Beschreibung wird anhand der neuen Nadel-Ausstecheinheit (magnetisch) erklärt. Für
die Nadel-Ausstecheinheit mit Bajonettverschluss ist die Vorgehensweise identisch.
Teile
Abb.208:
Folgende Ersatzteile sind erhältlich:
●
[00387580-xx] Dichtungseinheit
(Saugadapter (1) inklusive Vakuumsauger (2) und O-Ring (3) vormontiert)
●
[00201141-xx] O-Ring 3*1 NBR 70 B (ist als Wartungs-/Verbrauchsteil definiert)
Vorgehensweise
Abb.209:
► Entfernen Sie den Pneumatikanschluss mithilfe eines Gabelschlüssels. Achten Sie dabei auf
die Dichtungen.