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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.2 Ausbau der Die-Attach-Unit aus dem SWS 256 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.2 Ausbau der Die-Attach-Unit aus dem SWS
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 255
Abb.346: Kabel nach dem Ausbau am SWS an Stellplatz 2 oder 4 verstauen
VORSICHT
Wenn die Kabel und Schläuche für die Die-Attach-Unit nicht aufbewahrt und zusammenge-
bunden werden, dann besteht die Gefahr eines Crashs mit dem Wafertisch und dem
Bestückkopf!
Abb.347:
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.2 Ausbau der Die-Attach-Unit aus dem SWS
256 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
11 Ausbaugruppen
11.1 Wafer-Aufnahmen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 257
11 Ausbaugruppen
11.1 Wafer-Aufnahmen
Die Ersatzteile sind für folgende Wafer-Aufnahmen gültig:
●
Wafer-Aufnahme 8" SWS12 (1/3) [00387217-xx]
●
Wafer-Aufnahme 12" SWS12 (1/3) [00387020-xx]
●
Wafer-Aufnahme 8" SWS12 (2/4) [00387411-xx]
●
Wafer-Aufnahme 12" SWS12 (2/4) [00387412-xx]
11.1.1 Übersicht
Abb.348: Wafer-Aufnahme mit eingelegtem Wafer (Beispiel für 12")
1. Wafer-Aufnahme
2. Wafer