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11 Ausbaugruppen 11.1 Wafer-Aufnahmen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 261 11.1.3.3 Die Breite der Waferaufnahme einstellen Die Waferauflageleisten können je nach Waferrahmen in der Breite verstellt we…
11 Ausbaugruppen
11.1 Wafer-Aufnahmen
260 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Das Anschlusskabel ist auf der großen Adapterplatine Wafertische geklemmt.
11.1.3.2 Waferarretierungsleiste um 180 Grad drehen (Option bei 8" Waferaufnahme)
Es gibt zwei Versionen der Waferarretierungsleiste (1). Bei der 12" Waferaufnahme kann die Wa-
ferarretierungsleiste nicht gedreht werden. Bei 8" kann die Waferarretierungsleiste um 180 Grad
verdreht montiert werden.
Dadurch ist es möglich Waferrahmen mit verschiedenen Arretierungspositionen und Verdrehposi-
tionen(3) oder(4) zu verarbeiten.
Abb.351: Waferarretierungsleiste drehen
► Drehen Sie die beiden Rändelschrauben (2) der Waferarretierungsleiste (1) heraus.
► Heben Sie die Waferarretierungsleiste vorsichtig ab und montieren diese wieder um 180Grad
gedreht.
► Achten Sie auf die schwarzen O-Ringe (5) unter der Waferarretierungsleiste. Die O-Ringe
müssen in den Öffnungen verbleiben und dürfen nicht verloren gehen. Tauschen Sie diese
ggf. durch neue aus.
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11.1 Wafer-Aufnahmen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 261
11.1.3.3 Die Breite der Waferaufnahme einstellen
Die Waferauflageleisten können je nach Waferrahmen in der Breite verstellt werden. Es sind zwei
verschiedene Positionen (Pin innen oder Pin außen) möglich.
Abb.352: Waferauflageleiste - Breite ändern
Beide Waferauflageleisten müssen gleich montiert werden. D.h. entweder beide Pins innen oder
beide Pins außen. In der Abbildung sehen Sie eine Waferauflageleiste mit einem Pin (2) außen.
► Entfernen Sie die Rändelschraube (1) an der Waferauflageleiste (3). Entfernen Sie beide Wa-
ferauflageleisten.
Der Pin (2) muss bei beiden Waferauflageleisten entweder innen oder außen liegen.
VORSICHT
Auf Pneumatikschläuche und Kabel achten
► Achten Sie auf Pneumatikschläuche und Kabel. Diese dürfen nicht geklemmt werden
oder scheuern.
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262 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
11.1.3.4 Mitnehmer auf der Klemmung tauschen
Der Mitnehmer ist der Aufsatz für zwei verschiedene Dicken der Wafer-Frames und wird auf die
Klemmung montiert.
Abb.353: Mitnehmer der Klemmung wechseln
Zwei verschiedene Mitnehmer für Metall- und Kunststoff-Waferrahmen.
●
[00386221-xx] für dünne Metall-Waferrahmen
●
[00386560-xx] für dickere Kunststoff-Waferrahmen
► Entfernen Sie die beiden Schrauben des Mitnehmers auf der Klemmung und wechseln Sie
den Mitnehmer aus.
► Richten Sie den Mitnehmer mit den beiden Befestigungsschrauben mittig und parallel zum
Wafer-Rahmen aus (im Spiel der Bohrung).