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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS 238 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 10.1.4.4 Kabel aufbewahren Abb.313: Abdeckung und Kabelführung am SWS (2,4) an Stellplatz …

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10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 237
Abb.312:
► Stellen Sie den Rachen ein, indem Sie die Einstellschraube mit einem 1,5 mm Inbusschlüssel
drehen (siehe Abbildung).
► Wenn Sie die Position des Rachens mit der Einstellschraube nicht so justieren können, dass
das Kugellager von Segment 1 leichtgängig den Transfer-X-Rachen passiert, dann ist unter
Umständen der Rachen in Bezug auf den Flip-Kopf-Laufring verdreht. Lockern Sie dann die
Sicherungsschrauben der Die-Attach-Unit erneut (siehe oben).
► Verschieben Sie die Die-Attach-Unit und drücken Sie diese herunter. Ziehen Sie die drei Si-
cherungsschrauben schrittweise fest.
Manchmal hängt die Die-Attach-Unit am Zentrierbolzen fest. Sie ist dann leicht gekippt und
kann nicht vollständig auf die Grundplatte herunter gesetzt werden. In diesem Fall ist der Ra-
chen der Transfer-X-Achse nicht korrekt ausgerichtet.
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238 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
10.1.4.4 Kabel aufbewahren
Abb.313: Abdeckung und Kabelführung am SWS (2,4) an Stellplatz 2 oder 4.
Abb.314: Abdeckung und Kabelführung am SWS (1, 3) an Stellplatz 1 oder 3.
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 239
► Lagern und führen Sie die Kabel wie in den Abbildungen gezeigt.
Setzen Sie die Abdeckung auf die Die-Attach-Unit.
Stellen Sie sicher, dass keine Kabel oder Schläuche abgeklemmt oder beschädigt werden.
Ziehen Sie die Schrauben der Die-Attach-Abdeckung fest.
► Binden Sie die Kabel außerhalb der Abdeckung mit Kabelbindern zusammen, wie in der
Abbildung gezeigt.
VORSICHT
Crash-Gefahr!
► Stellen Sie sicher, dass die Abdeckung der Die-Attach-Unit korrekt montiert ist! Ver-
schieben Sie den Bestückkopf vorsichtig über die Die-Attach-Unit und prüfen Sie, ob
genug Freiraum zwischen Abdeckung und Bestückkopf besteht. Vor allem bei
SIPLACE C&P20-Köpfen ist das sehr entscheidend!
VORSICHT
► Stellen Sie sicher, dass kein Kabel hochsteht und mit dem Bestückkopf zusammen-
stoßen kann!
► Stellen Sie sicher, dass keine Kabel unterhalb der Grundplatte durchhängen. Ansons-
ten können diese mit dem Wafertisch zusammenstoßen!
Abb.315:
► Nach erfolgreichem Einbau muss die Die-Attach-Unit kalibriert werden.