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7 Die-Ejector 7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus) 164 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.210: ► Lockern oder entfernen Sie die Madenschraube (1) (Inbus 1,5) zur Fix…
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7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 163
7.5.1.5 Austausch der Dichtungseinheit und des O-Ringes an der Zentriereinheit des Die-
Ejectors
Folgende Beschreibung wird anhand der neuen Nadel-Ausstecheinheit (magnetisch) erklärt. Für
die Nadel-Ausstecheinheit mit Bajonettverschluss ist die Vorgehensweise identisch.
Teile
Abb.208:
Folgende Ersatzteile sind erhältlich:
●
[00387580-xx] Dichtungseinheit
(Saugadapter (1) inklusive Vakuumsauger (2) und O-Ring (3) vormontiert)
●
[00201141-xx] O-Ring 3*1 NBR 70 B (ist als Wartungs-/Verbrauchsteil definiert)
Vorgehensweise
Abb.209:
► Entfernen Sie den Pneumatikanschluss mithilfe eines Gabelschlüssels. Achten Sie dabei auf
die Dichtungen.
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7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)
164 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.210:
► Lockern oder entfernen Sie die Madenschraube (1) (Inbus 1,5) zur Fixierung der Dichtungs-
einheit(2).
Abb.211:
► Ziehen Sie die Dichtungseinheit nach oben heraus.
Falls die Dichtungseinheit sich nicht herausziehen lässt, klemmen Sie einen kleinen Inbus-
schlüssel in die Bohrung der Dichtungseinheit und versuchen Sie damit die Dichtungseinheit
nach oben zu ziehen.
► Danach sollte die Dichtungseinheit zu entnehmen sein.
► Nehmen Sie die neue komplette Dichtungseinheit und fetten Sie den O-Ring mit UNISILCON
L250L (dünner Schmierfilm).
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7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 165
Abb.212:
► Setzen Sie die neue Dichtungseinheit inkl. O-Ring ein und schieben Sie diese bis zum
Anschlag nach unten.
Abb.213:
► Schrauben Sie die Madenschraube (4) in die dafür vorgesehene Gewindebohrung (3) und
fixieren Sie die Dichtungseinheit (vorsichtig festziehen).
HINWEIS
Alte Nadel-Ausstecheinheit mit Bajonettverschluss
► Wenn die seitliche Inbusschraube an der Zentriereinheit schwer zugänglich ist, müs-
sen Sie ggf. die vier Befestigungsschrauben des Arretierungsrings entfernen und den
Ring abnehmen.
► Setzen Sie den Arretierungsring wieder ein und befestigen Sie ihn, bevor Sie die seitli-
che Inbusschraube festziehen.
► Komplettieren Sie den Die-Ejector.