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9 Wafer-Wechsel-System 9.1 Magazinlift 196 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 9.1.1.3 Näherungsschalter tauschen Die beiden Näherungsschalter überwachen den oberen und unteren Endanschlag der Hubachse de…
9 Wafer-Wechsel-System
9.1 Magazinlift
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 195
9.1.1.2 Motor tauschen
GEFAHR
Erhöhte Verletzungsgefahr beim Lösen der Motorbremse.
Der Lift ist schwer (ca. 80 kg) und durch eine Motorbremse gesichert. Ist der Motor strom-
los und wird die Madenschraube an der Kupplung der Motorwelle gelöst, dann fährt der Lift
an der Spindel ungebremst herunter.
► Entfernen Sie eine evtl. im Lift aufbewahrte Magazinplatte.
► Stützen Sie den Lift mit einem geeigneten Hilfsmittel (z.B. stabiler Holzblock) so ab,
dass der Lift nicht herunter fahren kann.
Abb.252: Motor mit Kupplung des Magazinliftes (kurze Kugelumlaufspindel montiert)
Ausbau
► Stecken Sie das Motor- und das Encoderkabel am Motor (1) ab.
► Lockern Sie an der Motorwelle die Madenschraube an der Kupplung (3).
► Entfernen Sie vier Schrauben (2) am Montageblock (4) und ziehen Sie den Motor (1) nach
unten heraus.
► Kontrollieren Sie die Kupplung auf Beschädigungen und tauschen diese ggf. aus.
Einbau
► Schieben Sie den Motor mit Montageplatte in die Kupplung der Spindel.
► Richten Sie den Motor mit Welle an der Spindel in der Flucht aus.
► Ziehen Sie die vier Schrauben (2) am Montageblock (4) locker an.
► Die Kupplung darf keinen Versatz haben. Kontrollieren Sie den Rundlauf. Es besteht sonst
Bruchgefahr der Kupplung.
► Ziehen Sie die Madenschrauben an der Kupplung (3) fest.
► Ziehen Sie die vier Schrauben (2) am Montageblock (4) fest.
► Stecken das Motor- und das Encoderkabel am Motor (1) an.
► Fixieren und bündeln Sie die Kabel ggf. mit Kabelbinder. Die Kabel dürfen nirgends scheuern
oder klemmen.
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9.1 Magazinlift
196 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
9.1.1.3 Näherungsschalter tauschen
Die beiden Näherungsschalter überwachen den oberen und unteren Endanschlag der Hubachse
des Magazinliftes. Das Kabel des jeweiligen Näherungschalters ist an der Platine DMC im unteren
Bereich des Magazinliftes angeschlossen.
Abb.253: Näherungsschalter Hubachse Magazinlift (Detailansicht)
●
Der Näherungsschalter (1) für die obere Position der Hubachse befindet neben der Linear-
führung oben.
●
Der Näherungsschalter (2) für die untere Position der Hubachse befindet neben der Linear-
führung unten.
► Entfernen Sie die Schraube am jeweiligen Näherungsschalter.
► Fädeln Sie das Anschlusskabel bis zur Platine DMC aus (siehe auch 9.1.2 "Elektrik" [}202]).
► Montieren Sie den Näherungsschalter.
► Verlegen Sie das Anschlusskabel zur Platine DMC.
► Schließen Sie das Anschlusskabel an die jeweilige Klemmleiste an.
► Fixieren und bündeln Sie die Kabel ggf. mit Kabelbinder. Die Kabel dürfen nirgends scheuern
oder klemmen.
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
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9.1.1.4 Crashsensor und Slotabfrage
Abb.254: Crashsensor und Slotabfrage am Magazinlift
●
Der Crashsensor (1) überwacht, ob der Lift frei ist. D.h. dass sich kein Wafer im Verfahrbe-
reich der Hubachse befindet.
●
Die Slotabfrage (2) überprüft jeden Einschub des Magazins, ob sich darin ein Wafer befindet.
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen, den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Wafer Changer.
ð Die Anzeigen leuchten:
– DI25 Wafer slot sensor
– DI26 Lift crash sensor