00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第295页
12 Wafer-Stretcher 12.4 Ausbau Wafer-Stretcher Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 295 Abb.409: ► Ziehen Sie den Wafer-Wechsler in die Mitte des Wafer-Stretchers (1) . ► Entfernen Sie die jeweils vier Be…
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
294 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.407:
Demontieren Sie den Anwesenheitssensors 8“/12“ (5) wie folgt:
► Merken Sie sich die Einbauausrichtung des Sensors!
► Entfernen Sie die Schraube (von unten erreichbar).
Abb.408:
► Ziehen Sie den Wafer-Stretcher wieder vorsichtig auf die Wafer-Turm-Seite.
Achten Sie darauf, dass die vorherig demontierten Kabel sich nirgends verhaken.
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 295
Abb.409:
► Ziehen Sie den Wafer-Wechsler in die Mitte des Wafer-Stretchers (1).
► Entfernen Sie die jeweils vier Befestigungsschrauben (2) von den darunterliegenden Füh-
rungswägen.
Abb.410:
► Heben Sie nun vorsichtig den Wafer-Stretcher mit der Blechkante und dem blauen Ventil (1)
über die Energiekette (3)!
Achten Sie auch darauf, dass der Wafer-Stretcher beim Herausheben nirgends an den obe-
ren Baugruppen (2) anstößt.
Tipp: Rollen Sie die Energiekette aus, dann muss der Wafer-Stretcher nicht so weit angeho-
ben werden.
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
296 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.411:
► Seien Sie vorsichtig beim Verschieben des Wafer-Stretchers in Y-Richtung. Die Kabel der
ausgerollten Energiekette können sich an den oberen Baugruppen verfangen.
Abb.412:
► Schieben Sie den Wafer-Wechsler in eine hintere Position (1) und fädeln Sie den Wafer-Stret-
cher vorsichtig unten durch den Rahmen aus (2).