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18 Anhang 18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT 496 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Adapter-Platine AD-WT Rev.0 (229 x 65mm), Einbauort: Tischplatte Wafertisch Anschlüsse für: ● 21x Durchgangsklemmen für In/O…

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18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 495
18.3.6.8 Initialisierungsablauf für Wafer-Handler MOT10(B)
Die Wafer-Handler-Achse hat einen Hub von 460mm (CSM8) oder 510mm (CSM12) und ist mit
den Limit-Sensoren "RL10" (Magazin-Seite) und "FL10" (Flip-Seite) begrenzt. Die Initialisierung
des Motors erfolgt nach hinten zum Sensor "FL10". Anschließend wird die Encoder-Index-Spur
nach vorne gesucht.
Ist die Index-Spur gefunden, wird der Counter der Achse MOT10(B) aktualisiert und der Wafer-
Handler fährt anschließend in die hintere Ausgangsposition.
18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
18.4.1 Steuerplatinen Input/Output
DMC1886(1866) Galil-Motion-Controller (PCI-Bus) mit integriertem I/O-System
Anschlüsse über 2x 100pol. Stecker:
●
16x Digital-Input, Optoisolation, 24V/PNP,
●
8x Digital-Input 5V/NPN,
●
8x Analog-Input +/-10V, (nicht verwendet)
●
16x Digital-Output, Optoisolation 24V/500mA, p-schaltend
DMC1826 Galil-Motion-Controller (PCI-Bus) mit integriertem I/O-System
Anschlüsse über 1x 100pol. Stecker für:
●
8x Digital-Input, Optoisolation, 24V/PNP,
●
8x Analog-Input +/-10V, (nicht verwendet)
●
8x Digital-Output, Optoisolation, 24V/500mA, p-schaltend
Verteiler I/O-Platine DMC-INT1 (145 x 72mm), Einbauort: Waferlift
Anschlussklemmen für:
●
8x Digital-Input 24VPNP mit Leuchtdioden-Anzeige rot.
●
8x Digital-Output 24V / max2A / p-schaltend mit Leuchtdioden-Anzeige gelb.
●
12x Digital-Input 24V/PNP, = Limit und Home-Sensoren für 4-Motoren, mit LED.
●
4x Klemme MCMx (Motor-command), 4x Klemme AENx (Amplify-enable) mit LED.
●
1x ABORT (Abbruch), 1x ECC (Encoder-common), 1x INC (Input-common).
●
1x LSC (Limit-common), 8x Analog-Input +/-10V, 4x Klemmen für Analog-GND.
●
16x Klemme (grau) GND, 12x Klemme (orange) 24V, abgesichert mit F1/4AT.
●
Klemmen (orange) 2x 5V, 1x +12V, 1x -12V, kommend vom PC.
Verteiler I/O-Platine DMC-INT2 (230 x 145mm) Einbauort: Elektroeinschub
Anschlussklemmen für:
●
24x Digital-Input 24V/PNP mit Leuchtdioden-Anzeige rot.
●
16x Digital-Output / 24V / max2A / P-schaltend / mit Leuchtdioden-Anzeige gelb.
●
24x Digital-Input 24V/PNP, Limit und Home-Sensoren für 8-Motoren, mit LED rot.
●
8x Klemme MCMx (Motor-command), 8x Klemme AENx (Amplify-enable) mit LED.
●
2x ABORT (Abbruch), 2x ECC (Encoder-common), 2x INC (Input-common).
●
2x LSC (Limit-common), 8x Analog-Input +/-10V, 4x Klemmen für Analog-GND.
●
40x Klemme (blau) GND, 24x Klemme 24V (orange), abgesichert mit F1/4AT.
●
Klemmen (orange) 2x 5V (über F2/1AT), 2x +12V, 2x -12V, kommend vom PC.
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18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
496 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Adapter-Platine AD-WT Rev.0 (229 x 65mm), Einbauort: Tischplatte Wafertisch
Anschlüsse für:
●
21x Durchgangsklemmen für In/Outputs
●
12x Durchgangsklemmen für Home und Limitsensoren, (für Servomotor 1-4)
●
15x Klemmen (orange) 24V, abgesichert über F1/2AT, Kontroll-LED1 grün.
●
15x Klemmen (grau) GND.
●
1x Sicherung für 5V-Logik-Spannung, F2/0,5AF, Kontroll-LED2 grün.
●
Integrierte Logik-Steuerung für die Limit-Abschaltung des Wafertisches zum Schutz des Die-
Ejector, mit Jumper J1/2/3/4/5 für Logik Festlegung.
●
2x Schrittmotor-Steuerung für X/Y-Achse Die-Ejector, = Option.
●
1x Durchgangsklemmen für einen Servomotor, Hall-Sensoren und Encoder
18.4.2 Aufbau des DMC-18x6 I/O-System
Das komplette Input/Output System ist in den Galil-Motions-Controllern 1x "DMC1886" oder
"DMC1866" und "DMC1826" integriert.
Die Signalleitungsführung erfolgt über 3 Kabel 100-polig, kommend von Galil DMC18x6 und wer-
den durchgeschleift über drei Amplifier "AMP-19540"(19520").
An den Amplifier werden die Signale über den Stecker "AUX-IO J3x" (44pol.) zur Platine "DMC-
INT2" oder "DMC-INT1" weitergeleitet.
Die Analog-Input und die Digital-Input 5V werden jeweils über die 15pol. Stecker "Analog-1" an
den Amplifier zu der Platine "DMC-INT2" weitergeleitet.
An den "DMC-INT1(2)" Platinen werden über die Klemmanschlüsse die Signale abgegriffen und in
der Maschine direkt oder über Verbindungskabel mit Sub-D Stecker verteilt.
Die Inputs an den "DMC18x6" können mit NPN oder auch mit PNP betrieben werden.
Die gemeinsame "INCOM" Verbindung für die Inputs zu den "DMC18x6" wird über die Adapterpla-
tine "DMC-INT1(2)" mit Jumper "Jx" auf COM24 gelegt, sodass die Input mit PNP-Logik arbeiten.
Label DMC1886(66) Input-1 bis 24 = IN1, IN2,…IN24
Analog-Input-1 bis 8 = ANA1, ANA2,…ANA3
Output-1 bis 16 = OUT1, OUT2,…OUT16
Label DMC1826 Input-1 bis 8 = IN1.1, IN1.2,…IN1.8
Output-1 bis 8 = OUT1.1, OUT1.2,…OUT1.8
Label USB-IO Input-1 bis 8 = DI1, DI2,…DI8
Analog-Input 1 bis 8 = AI1, AI2,…AI3
Output-1 bis 8 = DO1, DO2,…DO8
Current-Output (Stromregelung) 1 bis 8 = ILED1, ILED2,…ILED8
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18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 497
18.4.2.1 Signalverfolgung DMC-18x6
Input/Output DMC-1886(1866)
PCI - DMC1886(66) Amplifier-1 AMP19540 Adapterplatine DMC-INT2
"AXIS 1-4" Kabel-100pol. "J1 Axis1-4" "J31 AUX-
IO"
Kabel-44pol. " X1"
Stecker 100pol. Stecker 100pol. Stecker
44pol.
Stecker 44pol. Klemmen
Pin69 = LSCOM Pin69 Pin44 Pin44 -- J1 INC-
X1
INC-X1
Pin70 = IN1 Pin70 Pin24 Pin24 IN1
Pin71 = IN2 Pin71 Pin38 Pin38 IN2
Pin72 = IN3 Pin72 Pin 8 Pin 8 IN3
Pin73 = IN4 Pin73 Pin25 Pin25 IN4
Pin74 = IN5 Pin74 Pin39 Pin39 IN5
Pin75 = IN6 Pin75 Pin 9 Pin 9 IN6
Pin76 = IN7 Pin76 Pin26 Pin26 IN7
Pin77 = IN8 Pin77 Pin40 Pin40 IN8
Pin79 = OUT1 Pin79 Pin20 Pin20 OUT1
Pin80 = OUT2 Pin80 Pin 5 Pin 5 OUT2
Pin81 = OUT3 Pin81 Pin21 Pin21 OUT3
Pin82 = OUT4 Pin82 Pin19 Pin19 OUT4
Pin83 = OUT5 Pin83 Pin4 Pin4 OUT1
Pin84 = OUT6 Pin84 Pin2 Pin2 OUT2
Pin85 = OUT7 Pin85 Pin18 Pin18 OUT3
Pin86 = OUT8 Pin86 Pin3 Pin3 OUT4
"ANALOG-1" ST.15pol. Kabel 15pol. "X2"
Pin 1 = AGND Pin 1 Pin1/9 Pin1/9 AGND
Pin91 = ANA1 Pin91 Pin 2 Pin 2 ANA1
Pin92 = ANA2 Pin92 Pin10 Pin10 ANA2
Pin93 = ANA1 Pin93 Pin 3 Pin 3 ANA3
Pin94 = ANA2 Pin94 Pin11 Pin11 ANA4
Pin91 = ANA1 Pin91 Pin 2 Pin 2 ANA1
Pin92 = ANA2 Pin92 Pin10 Pin10 ANA2
Pin93 = ANA1 Pin93 Pin 3 Pin 3 ANA3
Pin94 = ANA2 Pin94 Pin11 Pin11 ANA4