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8 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Inhaltsverzeichnis 12.8.2.2 Vorbereitende Tätigkeiten .. 328 12.8.2.3 Justage (Ausrichten) des Durchhang-Sensors .. 328 12.8.3 Einstellen des Schaltschwellenwerts…

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7Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Inhaltsverzeichnis
11.1.1 Übersicht.. 257
11.1.2 Übersicht der Ersatzteile.. 258
11.1.3 Ersatzteile tauschen.. 259
11.1.3.1 Waferaufnahme komplett wechseln.. 259
11.1.3.2 Waferarretierungsleiste um 180 Grad drehen (Option bei 8" Waferaufnahme).. 260
11.1.3.3 Die Breite der Waferaufnahme einstellen.. 261
11.1.3.4 Mitnehmer auf der Klemmung tauschen.. 262
11.1.3.5 Magnetventil für die Klemmung tauschen.. 263
11.1.3.6 Klemmung komplett tauschen.. 264
11.1.3.7 Reflektions-Lichttaster tauschen.. 265
11.1.3.8 Waferaufname kalibrieren.. 265
11.1.3.9 Einschraubzylinder der Niederhalter tauschen.. 266
11.2 Linear-Dipping-Unit (LDU).. 267
12 Wafer-Stretcher.. 269
12.1 Erklärung Wafer-Stretcher.. 269
12.1.1 SIPLACE SWS Wafer-Stretcher.. 269
12.1.2 Sicherheitshinweise.. 269
12.1.3 Technische Daten.. 270
12.1.4 Bestückgenauigkeit und Leistungswerte.. 270
12.1.5 Beschreibung.. 271
12.2 Detaillierter Ablauf des Prozesses "Wafer-Stretching".. 274
12.3 Vorbereitenden Maßnahmen zum Arbeiten am Wafer-Stretcher.. 282
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher.. 284
12.4.1 Vorbereitungen zum Ausbau Wafer-Stretcher.. 284
12.4.2 Demontage Abdeckblech und Niederhalterbleche.. 284
12.4.3 Demontage an Klemm- und Hubzylinderseite.. 288
12.4.4 Demontage an Wafer-Wechsler-Seite.. 292
12.5 Teileübersicht Wafer-Stretcher.. 297
12.6 Einbau Wafer-Stretcher.. 297
12.6.1 Vorbereitungen zum Einbau Wafer-Stretcher.. 297
12.6.2 Montage des Wafer-Stretchers auf die Führungswägen.. 298
12.6.3 Montage der Verbindungen.. 304
12.6.4 Montage Abdeckblech und Niederhaltebleche.. 306
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen.. 308
12.7.1 Dehnfaktor mechanisch einstellen.. 308
12.7.1.1 Vorbereitungen.. 308
12.7.1.2 Einstellungen.. 310
12.7.2 Framebreite bei 8" Waferaufnahme einstellen.. 310
12.7.2.1 Vorbereitungen.. 310
12.7.2.2 Einstellungen.. 312
12.7.3 Waferaufnahme umbauen von 8“-Wafer-tretcher auf 12“-Wafer-Stretcher.. 313
12.7.3.1 Teile aus Nachrüstsatz 12" Wafer-Expander.. 313
12.7.3.2 Vorbereitungen.. 314
12.7.3.3 Ausbau der 8" Waferaufnahme.. 315
12.7.3.4 Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8.. 323
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19.. 324
12.8.1 Generelle Information zum Durchhang-Sensor.. 324
12.8.1.1 Aufbau der Baugruppe Durchhang-Sensor.. 324
12.8.1.2 Funktion der Baugruppe Durchhang-Sensor.. 325
12.8.1.3 Erklärung der Lichtintensität in Verbindung mit dem Foliendurchhang.. 326
12.8.2 Mechanisches Einstellen des Durchhang-Sensor IN19.. 327
12.8.2.1 Benötigte Materialien und Hilfsmittel.. 327
8 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Inhaltsverzeichnis
12.8.2.2 Vorbereitende Tätigkeiten.. 328
12.8.2.3 Justage (Ausrichten) des Durchhang-Sensors.. 328
12.8.3 Einstellen des Schaltschwellenwerts.. 334
12.8.3.1 Überprüfen der Funktion "Schaltschwelle".. 336
12.8.4 Abschließende Arbeiten.. 337
13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung.. 339
13.1 Ausbau und Tausch BoxPC.. 339
13.1.1 Vorbereitende Tätigkeiten.. 339
13.1.1.1 Datenbackup.. 339
13.1.1.2 SWS vorbereiten.. 339
13.1.2 Vorbereitung zum Ausbau des BoxPC.. 340
13.1.2.1 Kabelverbindungen auf der BoxPC-Rückseite.. 342
13.1.3 Entnahme des BoxPC.. 345
13.1.4 Einbau neuer BoxPC.. 346
13.1.4.1 Anschluss neuer BoxPC.. 347
13.1.4.2 Abschließende Arbeiten nach Einbau.. 347
13.2 GALIL-Karten im BoxPC.. 348
13.2.1 Generelles zu GALIL-Karten.. 348
13.2.2 Austausch der GALIL-Karte.. 350
13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen.. 353
13.3.1 Ausbau der Servoverstärker AMP-19540 im SWS-Rahmen.. 354
13.3.2 GALIL AMP-19540 im Detail.. 358
13.3.3 Einbau der Servoverstärker AMP-19540 im SWS-Rahmen.. 360
14 Einstellungen und Testen.. 363
14.1 SWS GUI - Service Settings.. 363
14.2 Manuelle Einstellungen.. 364
14.3 Kamera Kalibrierung.. 365
15 Kalibrierung.. 367
15.1 Allgemeines.. 367
15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und Software).. 367
15.2.1 Vorbedingung.. 367
15.2.2 Nachrüstkonzept für den Setup-Modus.. 368
15.2.3 Vorbereitung der Software.. 369
15.2.4 Kabel an der Montageplatte für Setup-Modus umstecken.. 370
15.2.5 Regeln für den Setup-Modus – Sicherheitsrelevantes Thema!.. 374
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit.. 374
15.3.1 Vorbereitung - Haltezylinder der Z-Achse einstellen.. 374
15.3.1.1 Unterschiedliche Verriegelungssysteme für den Haltezylinder.. 376
15.3.1.2 Haltezylinder der Z-Achse einstellen.. 377
15.3.2 Kalibrierung des SWS - Flip-Kopf.. 379
15.3.2.1 Kalibrierungsmenü aufrufen - Flip-Kopf.. 379
15.3.2.2 Kalibrierung - Flip-Kopf-Drehachse.. 379
15.3.2.3 Kalibrierung - Flip-Kopf-Z-Achse.. 381
15.3.2.4 Kalibrierung - Segment-Offset in X-Richtung kalibrieren.. 385
15.3.2.5 Kalibrierung - Die-Ejector-Nadel.. 391
15.3.2.6 Kalibrierung - Kalibrierstation (nicht am SWS verwendet).. 395
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling.. 396
15.4.1 Waferlift kalibrieren.. 396
15.4.1.1 Endpositionen des Magazinlifts kalibrieren.. 396
9Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
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15.4.1.2 Magazin-Slot-Scan-Position kalibrieren.. 398
15.4.1.3 Wafer-Übergabeposition des Magazins in Bezug auf den Wafertisch kalibrieren.. 400
15.4.1.4 Waferlift-Position kalibrieren - Magazinlift-Wechsel-Position.. 403
15.4.2 Menü Wafertisch-Kalibrierung.. 404
15.4.2.1 Wafertisch-Kalibrierung.. 404
15.4.2.2 Wafertisch-Positionen.. 405
15.4.3 Menü Wafer-Wechsel-Kalibrierung.. 412
15.5 SWS-Datensicherung und -Wiederherstellung.. 414
15.5.1 Maschinendaten.. 414
15.5.2 Produktdaten.. 415
16 Software.. 417
16.1 Allgemeines.. 417
16.1.1 Kurzbeschreibung.. 417
16.1.2 Lieferumfang.. 417
16.1.2.1 Softwarepaket SWS.. 417
16.1.2.2 Betriebssystempaket SWS.. 417
16.2 Installation des Betriebssystems.. 417
16.2.1 Backup der installierten Software.. 417
16.2.1.1 Backup der Kalibrier- und Produktdaten per GUI.. 417
16.2.1.2 Backup der Halcon Lizenz.. 421
16.2.1.3 Backup der Halcon Lizenz per Linux Konsole.. 421
16.2.1.4 Wiederherstellen der Halcon Lizenz per GUI.. 424
16.2.1.5 Backup der installierten SWS Software über Linux Konsole.. 426
16.2.1.6 Backup über Bugreport.. 429
16.2.1.7 Erstellen einer Recovery DVD zur System Wiederherstellung.. 432
16.2.1.8 Wiederherstellen des Systems aus Recovery DVD.. 437
16.2.1.9 Netzwerkadressen aufnehmen.. 439
16.2.2 Installation des Betriebssystems.. 441
16.2.2.1 Backup der installierten Version zuerst ausführen.. 442
16.2.2.2 Installation der GUI.. 443
16.2.3 Wiederherstellen der Daten.. 447
16.2.3.1 Wiederherstellen der Halcon Lizenz.. 447
16.2.3.2 Auswählen des SWS Stellplatzes.. 449
16.2.3.3 Wiederherstellen der Netzwerkadressen.. 452
16.2.3.4 Wiederherstellen der Prozessdaten per GUI.. 463
16.2.3.5 Wiederherstellen der Kalibrierdaten per GUI.. 465
16.2.3.6 Wiederherstellen der Backups per Linux Konsole.. 467
16.2.3.7 Wiederherstellen der Daten aus Bugreport.. 470
16.2.4 Touchscreen kalibrieren.. 470
16.3 Installation einer neuen Softwareversion (GUI).. 471
16.4 Wiederherstellung alter Softwareversionen (GUI).. 471
17 Tipps und Tricks.. 477
17.1 Z-Achse Die-Ejector im ausgeschalteten und ausgebauten SWS nach unten bewe-
gen..
477
17.2 Wafer-Changer Kalibrier-Probleme.. 480
17.3 Wafer werden im Magazin am falschen Slot erkannt.. 482
18 Anhang.. 483
18.1 Spezifikation: Not-Aus.. 483
18.1.1 Schaltelemente.. 483
18.1.2 Externe Verbindung zur SIPLACE.. 483