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9 Wafer-Wechsel-System 9.1 Magazinlift 202 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 9.1.2 Elektrik HINWEIS Stromlaufpläne beachten Details zu den elektrischen Baugruppen des Waferliftes entnehmen Sie bitte den…
9 Wafer-Wechsel-System
9.1 Magazinlift
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 201
9.1.1.8 Waferlift – Kugelumlaufspindel tauschen
WARNUNG
Nur erfahrene Servicetechniker der Fa. ASM Assembly Systems GmbH & Co.KG
Das Tauschen der Kugelumlaufspindel und die dazu notwendigen Einstellungen dürfen nur
erfahrene Servicetechniker der Fa. ASM Assembly Systems GmbH & Co.KG durchführen.
Eine unsachgemäße Montage kann zu Beschädigungen am SWS führen.
Abb.258: Waferlift - Kugelumlaufspindel tauschen
► Entfernen Sie die beiden Schrauben (1).
► Entfernen Sie die sechzehn Schrauben (2) und entnehmen Sie die Einheit. Die Einheit ist auf
Passstifte montiert.
► Entfernen Sie die Schraube der Kupplung (3).
► Entfernen Sie die beiden Schrauben am Festlagerteil (4).
► Entfernen Sie beide Schrauben am oberen Spindellager (5) und entnehmen Sie die Kugelum-
laufspindel.
► Ziehen Sie die Klemmschraube der Kupplung mit einem Drehmoment von 1,0 Nm fest.
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9.1 Magazinlift
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9.1.2 Elektrik
HINWEIS
Stromlaufpläne beachten
Details zu den elektrischen Baugruppen des Waferliftes entnehmen Sie bitte den Strom-
laufplänen [00195960‑xx].
Abb.259: Elektrik unten am Waferlift (Übersicht)
1. Verstärkermodul 2-Achsen AMP-19520
2. Platine DMC Interface Input/Output
3. Schützsicherheitskombination mit Optokoppler
4. Sicherung 3 AT auf der Platine DMC Interface
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9.2 Greifer
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9.2 Greifer
●
Greifer SWS12 (1/3) [00387108-xx]
●
Greifer SWS12 (2/4) [00385525-xx]
9.2.1 Übersicht der Hauptbaugruppen
Abb.260: Hauptbaugruppen des Greifers (Stellplatz 2/4)
1. Greifer
2. Zahnriemenachse
3. Motor mit Kupplung
4. Platine AD-MOT unter der Abdeckung
Abb.261: Hauptbaugruppen des Greifers (Stellplatz 1/3)
5. Greifer
6. Zahnriemenachse
7. Motor mit Kupplung
8. Platine AD-MOT
9. Höhenjustage
10. Barcodescanner (optional)