00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第263页

11 Ausbaugruppen 11.1 Wafer-Aufnahmen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 263 11.1.3.5 Magnetventil für die Klemmung tauschen Abb.354: Magnetventil für die Klemmung am Mitnehmer Das Magnetventil OUT9 (1)…

100%1 / 510
11 Ausbaugruppen
11.1 Wafer-Aufnahmen
262 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
11.1.3.4 Mitnehmer auf der Klemmung tauschen
Der Mitnehmer ist der Aufsatz für zwei verschiedene Dicken der Wafer-Frames und wird auf die
Klemmung montiert.
Abb.353: Mitnehmer der Klemmung wechseln
Zwei verschiedene Mitnehmer für Metall- und Kunststoff-Waferrahmen.
●
[00386221-xx] für dünne Metall-Waferrahmen
●
[00386560-xx] für dickere Kunststoff-Waferrahmen
► Entfernen Sie die beiden Schrauben des Mitnehmers auf der Klemmung und wechseln Sie
den Mitnehmer aus.
► Richten Sie den Mitnehmer mit den beiden Befestigungsschrauben mittig und parallel zum
Wafer-Rahmen aus (im Spiel der Bohrung).
11 Ausbaugruppen
11.1 Wafer-Aufnahmen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 263
11.1.3.5 Magnetventil für die Klemmung tauschen
Abb.354: Magnetventil für die Klemmung am Mitnehmer
Das Magnetventil OUT9 (1) öffnet und schließt die Klemmung am Mitnehmer (2).
► Stecken Sie die pneumatischen und elektrischen Anschlüsse am Magnetventil OUT9 ab.
► Entfernen Sie die drei Befestigungsschrauben und nehmen Sie das Magnetventil ab.
► Montieren Sie das Magnetventil und stellen Sie die pneumatischen und elektrischen
Anschlüsse wieder her.
► Überprüfen Sie das Magnetventil auf Funktion.
– Ein- und Ausschalten.
► Steuern Sie das Magnetventil an.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen, den Button Manuelle Subsysteme
und wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Wafertable.
– DO09 Wafer clamp öffnet und schließt die Klemmung.
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
– DI12 Wafer clamp open
– DI13 Wafer clamp closed
Über die Zuluftdrossel (3) stellen Sie die Reihenfolge der Klemmung ein. Der Mitnehmer muss zu-
erst klemmen, erst dann dürfen die vier Niederhalter schließen.
11 Ausbaugruppen
11.1 Wafer-Aufnahmen
264 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
11.1.3.6 Klemmung komplett tauschen
Abb.355: Klemmung komplett wechseln
► Entfernen Sie die beiden Befestigungsschrauben (1).
► Stecken Sie die pneumatischen Anschlüsse (2) ab.
► Lockern Sie die Madenschrauben (4) der beiden Näherungsschalter am Schwenkzylinder (3).
► Montieren Sie den Mitnehmer ggf. auf die neue Klemmung.
► Montieren Sie die komplette Klemmung.
► Richten Sie die Klemmung mit dem Mitnehmer parallel und mittig aus.
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Wafertable.
– DO09 Wafer clamp öffnet und schließt die Klemmung.
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
– DI12 Wafer clamp open
– DI13 Wafer clamp closed