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13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung 13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 361 ► Richten Sie die GALIL-Karte so aus, dass die Bohrlöcher fluchten. Abb.5…

13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung

13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen

360 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018

13.3.3 Einbau der Servoverstärker AMP-19540 im SWS-Rahmen

Tipp zum Einbau

Aufgrund der schwierigen Einbaulage wird es, wenn die Vakuumpumpe nicht ausgebaut wurde

(wie in unserem Beispiel), sehr schwierig, die GALIL-Karte anzuschrauben.

Abb.505:

► Nehmen Sie ein Blatt (Stück) Papier.

► Drücken Sie den Inbusschlüssel durch dieses Papier in die Inbusschraube.

► In unserem Beispiel ist das Loch im Papier nur zur Demonstration.

► Benutzen Sie einen gerade Inbus oder Kugelkopf. → Probieren Sie aus, welcher für Sie bes-

ser funktioniert.

ð Danach sollte die Schraube auf dem Inbusschlüssel halten und nicht herunterfallen. So

kann man die Schraube besser an unzugänglichen Bohrungen einsetzen.

Einbau der GALIL-Karte

Abb.506:

► Heben Sie die GALIL-Karte von oben in die dafür vorgesehene Position.

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13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen

Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 361

► Richten Sie die GALIL-Karte so aus, dass die Bohrlöcher fluchten.

Abb.507:

► Schrauben Sie die vier Befestigungsschrauben inkl. Beilagscheiben in die dafür vorgesehe-

nen Löcher.

► Benutzen Sie das Papier zum Fixieren der Schrauben auf dem Inbusschlüssel.

► Ziehen Sie die vier Schrauben fest an.

Abb.508:

► Stellen Sie die Masseverbindung wieder her.

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362 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018

Abb.509:

► Stellen Sie alle Kabelverbindungen auf der GALIL-Karte wieder her.

Sämtliche Kabel haben die gleiche Bezeichnung (Label) wie die Anschlüsse auf der GALIL-

Karte.

► Überprüfen Sie, ob alle Kabel sauber stecken.

Speziell das 100polige Kabel J1 AXIS1-4 muss eine saubere Verbindung haben, da es sonst

zu Problemen kommen kann.

► Falls die Vakuumpumpe und der Schutzbügel zur besseren GALIL-Kartenmontage ausgebaut

wurden: Bauen Sie die Vakuumpumpe und den Schutzbügel wieder ein und stellen die Ver-

bindungen zum SWS wieder her.

► Schieben Sie jetzt, oder vor Montage der Vakuumpumpe, das Einzugsblech wieder in den

SWS und fixieren Sie das Blech mit den beiden Schrauben.

► Komplettieren Sie den SWS.

► Bauen Sie die Seitenverkleidung wieder an.

► Schwenken Sie den Waferlift wieder zurück.

► Bauen Sie das SWS wieder in die Maschine ein.

ð Das SWS sollte ohne Kalibrierung sofort wieder funktionieren.