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9 Wafer-Wechsel-System 9.1 Magazinlift Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 199 9.1.1.6 Haubenschalter Der Haubenschalter überprüft, ob die Haube des Waferlifts geschlossen ist. Der Haubenschalter befindet…
9 Wafer-Wechsel-System
9.1 Magazinlift
198 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
9.1.1.5 Schalter für Überprüfung ob eine Kassette vorhanden ist
Zwei Kippschalter auf der Magazinplatte des Waferlifts überprüfen, ob eine Waferkassette einge-
legt ist.
Abb.255: Kippschalter am Magazinlift
1. Kippschalter für Waferkassette 8"
2. Kippschalter für Waferkassette 12"
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Wafer Changer.
► Die Anzeige leuchtet:
– DI28 Magazine present
Die Anschlusskabel sind zur Platine DNC verlegt und dort angeschlossen (siehe 9.1.2 "Elek-
trik" [}202]).
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9.1 Magazinlift
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 199
9.1.1.6 Haubenschalter
Der Haubenschalter überprüft, ob die Haube des Waferlifts geschlossen ist. Der Haubenschalter
befindet sich an der rechten Seite des Waferlifts.
Abb.256: Haubenschalter am Magazinlift
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste, den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen, den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Wafer Changer.
ð Die Anzeige leuchtet:
– DI27 Wafer lift hood: closed
Die Anschlusskabel sind zur Schützsicherheitskombination verlegt und dort angeschlossen (siehe
9.1.2 "Elektrik" [}202]).
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9.1 Magazinlift
200 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
9.1.1.7 Türschalter
Der Türschalter überprüft, ob die Versorgungstüre des Waferlifts geschlossen ist. Der Türschalter
befindet sich an der linken Seite des Waferlifts.
Abb.257: Türschalter am Magazinlift
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste, den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen, den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► → Wählen Sie die Registerkarte Wafer Changer.
ð Die Anzeige leuchtet:
– DI27 Wafer lift hood: closed
Die Anschlusskabel sind zur Schützsicherheitskombination verlegt und dort angeschlossen (siehe
9.1.2 "Elektrik" [}202]).