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12 Wafer-Stretcher 12.4 Ausbau Wafer-Stretcher 294 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.407: Demontieren Sie den Anwesenheitssensors 8“/12“ (5) wie folgt: ► Merken Sie sich die Einbauausrichtung des S…
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 293
Abb.404:
Abb.405:
► Ziehen Sie den Steckers X11 (1) ab.
► Ziehen Sie die Druckluftleitung (2) ab.
Abb.406:
► Schrauben Sie die Masseverbindung (3) ab.
► Demontieren Sie die Energiekette (4) → verdeckt.
► Eventuell müssen noch diverse Kabelbinder geöffnet werden, um die Verbindungen sauber
lösen zu können.
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12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
294 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.407:
Demontieren Sie den Anwesenheitssensors 8“/12“ (5) wie folgt:
► Merken Sie sich die Einbauausrichtung des Sensors!
► Entfernen Sie die Schraube (von unten erreichbar).
Abb.408:
► Ziehen Sie den Wafer-Stretcher wieder vorsichtig auf die Wafer-Turm-Seite.
Achten Sie darauf, dass die vorherig demontierten Kabel sich nirgends verhaken.
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Abb.409:
► Ziehen Sie den Wafer-Wechsler in die Mitte des Wafer-Stretchers (1).
► Entfernen Sie die jeweils vier Befestigungsschrauben (2) von den darunterliegenden Füh-
rungswägen.
Abb.410:
► Heben Sie nun vorsichtig den Wafer-Stretcher mit der Blechkante und dem blauen Ventil (1)
über die Energiekette (3)!
Achten Sie auch darauf, dass der Wafer-Stretcher beim Herausheben nirgends an den obe-
ren Baugruppen (2) anstößt.
Tipp: Rollen Sie die Energiekette aus, dann muss der Wafer-Stretcher nicht so weit angeho-
ben werden.