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15 Kalibrierung 15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 405 All-In-One-Kalibrierung ► Wählen Sie One-magic-button calibration unter Full calibration . ð Der Mit…

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15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
404 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
15.4.2 Menü Wafertisch-Kalibrierung
Abb.580:
► Um die Kalibrierung zu starten, wählen Sie zuerst Service menu in der Menüleiste am unte-
ren Rand und dann wählen Sie Calibration of wafer table.
15.4.2.1 Wafertisch-Kalibrierung
KEINE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus ist nicht aktiviert!
Maschinenhauben sind geschlossen!
Abb.581:
Die Standardvorgehensweise führt alle Einzelschritte zur Kalibrierung des Wafertisches in einem
Vorgang aus.
Diese Vorgehensweise umfasst dieselbe Reihenfolge der Kalibrierschritte wie in Single step cali-
bration.
Wenn Probleme auftreten, kann die Wafertisch-Kalibrierung als Einzelkalibrierung durchgeführt
werden.
15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 405
All-In-One-Kalibrierung
► Wählen Sie One-magic-button calibration unter Full calibration.
ð Der Mittelpunkt und die Kollisionskonturen des Wafertisches werden auf einmal kalibriert.
Einzelkalibrierung
Erster Schritt
1 - Kollisionsstrukturen bestimmen
●
In einem ersten Schritt wird der Tisch verfahren, um die Kollisionsstrukturen zu erkennen.
●
Es erfolgt eine Prüfung der Kollisionskonturen des Wafertisches gegen das Ergebnis der alten
Nullposition, um einen Crash zu verhindern.
Zweiter Schritt
2 – Nullpunkt kalibrieren
●
Im zweiten Schritt wird die Referenzposition des Wafertisches mit Hilfe des Pins (als Marke
für die Berechnung der Tischposition) kalibriert.
●
Es erfolgt eine Kalibrierung des Wafer-Rahmen-Mittelpunkts.
Dritter Schritt
3 - Kollisionsstrukturen bestimmen
●
Im dritten Schritt wird die Bestimmung der Kollisionsstruktur wiederholt, um das Ergebnis zu
verfeinern.
●
Es erfolgt eine Kalibrierung der Kollisionskonturen des Wafertisches mit dem neuen Ergebnis
der Nullposition.
15.4.2.2 Wafertisch-Positionen
KEINE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus ist nicht aktiviert!
Maschinenhauben sind geschlossen!
In dieser Kalibrierung wird der Wafertisch so eingestellt, dass er am Wafer-Magazin ausgerichtet
ist und eine Position für den optionalen Wafer-Heater definiert wird.
Abb.582:
15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
406 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Einstellung der Wafer-Wechsel-Position
Vorbedingung
●
Magazin muss mit mindestens einem Wafer in einem Slot gerüstet sein.
●
Magazin und Wafer müssen einander in der Software zugeordnet sein.
Manuelle Operationen - Manuelle Operationen Subsysteme - Wafer-Handling
► Wählen Sie Wafer handling im Menü Manual operations.
Abb.583:
► Wählen Sie Go to change position, damit der Wafertisch in die Ladeposition verfährt.
► Geben Sie die Nummer eines Slots, der einen Wafer enthält, ein. Wählen Sie To load wafer
position.
► Aktivieren Sie den Setup-Modus.
HOHE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus muss aktiviert sein!
► Wählen Sie Open wafer lock, um die Wafer-Klemmung zu öffnen.
► Wählen Sie Gripper down.