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2 Übersicht über das SIPLACE Wafer System (SWS) 2.4 Beschreibung der SWS-Baugruppen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 27 2.4 Beschreibung der SWS-Baugruppen 2.4.1 Versorgungseinheit Abb.8: Versorgungse…
2 Übersicht über das SIPLACE Wafer System (SWS)
2.3 Detailübersicht der Hauptbaugruppen
26 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
2.3.1 Baugruppenübersicht des Bereiches Wafertisch
Abb.7: Baugruppenübersicht des SWS
1. Klemmeinheit
2. Waferkamera
3. Flip-Unit
4. Wafer-Aufnahme
5. Führung
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2.4 Beschreibung der SWS-Baugruppen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 27
2.4 Beschreibung der SWS-Baugruppen
2.4.1 Versorgungseinheit
Abb.8: Versorgungseinheit
1. Manometer Druckluftversorgung
2. Spannungsversorgung
3. Kommunikation mit dem Bestücker
4. CAN-Bus
5. Druckluftanschluss (abgewandelter Adapter Blindstecker [03011592‑xx]
6. LAN1
7. LAN2
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2.4 Beschreibung der SWS-Baugruppen
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2.4.1.1 Flip-Unit
Abb.9: Flip-Unit
1. Flip-Kopf
2. Pipetten-/Toolaufnahme