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9 Wafer-Wechsel-System 9.2 Greifer Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 211 9.2.6.2 Sanftes Klemmen und Verfahren des Greifers einstellen (für Stellplatz 1/3) Abb.270: Einstelldrossel am Greifer (1/3) Mit…
9 Wafer-Wechsel-System
9.2 Greifer
210 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
► Überprüfen Sie das Magnetventil auf Funktion.
– Ein- und Ausschalten.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Wafer Changer.
► Steuern Sie das Magnetventil Y1 an.
– DO18 Gripper up/down fährt den Greifer rauf und runter.
► Überprüfen Sie die Eingangssignale für die entsprechende Position.
– DI29 Gripper position: up
– DI30 Gripper position: down
► Steuern Sie das Magnetventil Y2 an.
– DO19 Gripper open/closed öffnet und schließt die Greiferbacken.
► Überprüfen Sie die Eingangssignale für die entsprechende Position.
– DI31 Gripper: open
– DI32 Wafer present in gripper
9.2.6.1 Sanftes Klemmen und Verfahren des Greifers einstellen (für Stellplatz 2/4)
Abb.269: Einstelldrossel am Greifer (2/4)
Mit Hilfe von Einstelldrosseln kann die Klemmung der Greiferbacken (1), sowie das Rauf- und Run-
terfahren des Greifers (2) eingestellt werden. Beide Aktionen sollen sanft und ohne Schlagge-
räusche erfolgen.
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9.2 Greifer
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 211
9.2.6.2 Sanftes Klemmen und Verfahren des Greifers einstellen (für Stellplatz 1/3)
Abb.270: Einstelldrossel am Greifer (1/3)
Mit Hilfe von Einstelldrosseln kann die Klemmung der Greiferbacken (1), sowie das Rauf- und Run-
terfahren des Greifers (2) eingestellt werden. Beide Aktionen sollen sanft und ohne Schlagge-
räusche erfolgen.
Bei der Einstellung auf die verschiedenen Framestärken (Dicken) müssen Sie die Rückzugfeder
der Schaltfahnen (3) kontrollieren.
9.2.7 Greifer für Stellplatz 1/3 demontieren
Abb.271: Greifer für Stellplatz 1/3 demontieren
► Entfernen Sie die Befestigungsschrauben (3) und (4) des Greifers (1) und legen Sie den Grei-
fer vorsichtig im SWS ab. Lockern oder öffnen Sie ggf. Kabelbinder um eine geeignete Posi-
tion zu erreichen.
9 Wafer-Wechsel-System
9.2 Greifer
212 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
► Stecken Sie die pneumatischen Anschlüsse an den dafür vorgesehenen Kupplungen ab.
► Fädeln Sie die Anschlusskabel bis zur Umsetzplatine am Greiferarm ab.
► Falls keine Bezeichnung der Leitungen vorhanden ist: Nehmen Sie die Stromlaufplanmappe
zur Hilfe und kennzeichnen Sie die angeschlossenen Leitungen.
► Klemmen Sie die Anschlüsse an der Klemmleiste ab.
► Montieren Sie den neuen Greifer und kontrollieren Sie die Höhe.
Abb.272: Greifer-Höhe einstellen (Stellplatz 1/3)
► Die Greiferbacken müssen einen Waferrahmen sicher abholen und klemmen können.
► Mit Hilfe der Befestigungsschrauben an den Langlochbohrungen können Sie die Höhe korri-
gieren.
9.2.8 Greifer für Stellplatz 2/4 demontieren
Abb.273: Greifer für Stellplatz 2/4 demontieren
► Entfernen Sie die Befestigungsschrauben (2) des Greifers (1).
► Legen Sie den Greifer vorsichtig im SWS ab. Lockern oder öffnen Sie ggf. Kabelbinder um
eine geeignete Position zu erreichen.
► Stecken Sie die pneumatischen Anschlüsse an den dafür vorgesehenen Kupplungen ab.
► Fädeln Sie die Anschlusskabel bis zur Umsetzplatine am Greiferarm ab.
► Falls keine Bezeichnung der Leitungen vorhanden ist: Nehmen Sie die Stromlaufplanmappe
zur Hilfe und kennzeichnen Sie die angeschlossenen Leitungen.