00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第186页
8 Flip-Unit 8.4 Kalibrierung – Flip-Unit 186 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 8.4.4 Segment-Offsets korrigieren Die Offset Korrektur von Segment 1 und Segment 2 kann über die Parameter Offset segment 1…
8 Flip-Unit
8.4 Kalibrierung – Flip-Unit
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 185
8.4.3 Segment-Offsets einstellen
► Wählen Sie das Menü Service => Die handling calibration.
► Wählen Sie die Registerkarte Segments offset calibration.
Abb.239: Die handling calibration => Segments offset calibration
► Wählen Sie den Button Illumination und stellen Sie die Beleuchtung so ein, dass der Wafe-
rinhalt möglichst kontrastreich erkennbar ist.
► Schließen Sie anschließend das Beleuchtungsfenster.
► Positionieren Sie das Teflonband unter die Waferkamera.
► Betätigen Sie den Button Stamp mark for segment 1 für Segment 1 oder den Button Stamp
mark for segment 2 für Segment 2.
Abb.240: Pipettenabdruck auf Teflonband
Das entsprechende Segment fährt nach unten auf das Teflonband und erzeugt einen Abdruck. Im
Idealfall stimmt der Mittelpunkt des Abdrucks mit dem Kamera-Mittelpunkt (rotes Kreuz in Vision-
darstellung) überein. Falls der Abdruck nicht zu erkennen ist, muss ggf. die Beleuchtung angepasst
werden.
Weicht der Abdruck vom Kamera-Mittelpunkt ab, dann kann der Segment-Offset in X- und Y-Rich-
tung korrigiert werden.
8 Flip-Unit
8.4 Kalibrierung – Flip-Unit
186 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
8.4.4 Segment-Offsets korrigieren
Die Offset Korrektur von Segment 1 und Segment 2 kann über die Parameter Offset segment 1
oder Offset segment 2 (siehe 15.3.2.4 "Kalibrierung - Segment-Offset in X-Richtung kalibrie-
ren" [}385]).
Alternative:
Abb.241: Einstellmuttern und Konterschrauben für mechanische X- und Y-Einstellung
Alternativ kann die Einstellung mechanisch über die Einstellmuttern (1) und Konterschrauben (2)
an den Segmenten erfolgen.
8 Flip-Unit
8.4 Kalibrierung – Flip-Unit
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 187
8.4.4.1 Korrektur in X-Richtung (Segment 1)
Für die Korrektur in X-Richtung (Drehrichtung des Flip Kopfes) gibt es zwei Möglichkeiten:
●
(1) Korrektur des X-Offsets in der SWS-GUI über den Parameter Offset segment 1 (siehe
15.3.2.4 "Kalibrierung - Segment-Offset in X-Richtung kalibrieren" [}385]).
Ein positiver Eintrag verschiebt den Abdruck nach links, ein negativer Offset Eintrag nach
rechts.
●
(2) Verschieben des Abdrucks über die Einstellmutter am Segment.
Zum Verstellen der Einstellmutter muss zuerst die Konterschraube gelockert werden (s.u.).
Abb.242: Segment 1 - Lockern der Konterschraube (X-Richtung)
► Halten Sie die Einstellmutter mit dem Gabelschlüssel fest und öffnen Sie die Konterschraube
mit dem Inbusschlüssel.
Abb.243: Segment 1 - Drehen der X-Einstellmutter
Durch Drehen der Einstellmutter kann der Segment-Offset korrigiert werden:
Einstellung gültig für Segment 1:
●
Verschieben des Abdrucks nach rechts -> Drehen der X-Einstellmutter im Uhrzeigersinn.
●
Verschieben des Abdrucks nach links -> Drehen der X-Einstellmutter gegen Uhrzeigersinn.