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18 Anhang 18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung 492 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 18.3.5.7 Motor-7(G) = Rotate Die-Attach Bürstenloser Servomotor mit Hallsensoren-120°, Typ MSSI 032H-017E-048F ● Maxim…

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18 Anhang
18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 491
18.3.5.4 Motor-4(D) = Die-Ejector Needle
Bürstenloser Servomotor mit Hallsensoren-120°, Typ Hatherway QB01701-C
●
Maximales Drehmoment Mmax = 119 Ncm
●
Maximaler Strom Imax = 14 Aeff
●
Leerlaufdrehzahl n = 15488 U/min
●
Anschlusswiderstand = 6,5 Ohm
Shaft-Encoder, Typ HP - HEDL-5540
●
Ausgangssignal RS422 = 5V Differenzial-Signale mit Index-Spur A,B,I
●
Pulse pro Umdrehung = 500-cpr, entspricht 2000-Count
●
Spindelsteigung Die-Ejector = 2mm/Umdrehung
●
Auflösung pro Count = 1,0 µm
18.3.5.5 Motor-5(E) = Flip-Rotate
Bürstenloser Servomotor mit Hallsensoren-120°, Typ MSSI 055H-015E-048F
●
Maximales Drehmoment Mmax = 44,8 Ncm
●
Maximaler Strom Imax = 2,0 Aeff
●
Nenndrehzahl n = 1750 U/min
●
Anschlusswiderstand = 12,1 Ohm
Hohlwelle-Encoder, Typ Numerik-Jena RIK-2C 39/2048 M7-RZ
●
Mit integrierter Offset- und Amplitudenregelung
●
Teilkreisdurchmesser 39mm, Strichzahl =2048
●
In Stecker integrierter 10-fach Signalinterpolation
●
Ausgangssignal RS422 = 5V Differenzial mit Index-Spur A,B,I
●
Pulse pro Umdrehung = 2048-cpr x 10-fach = 20480-cpr, entspricht 81920-Count
●
Auflösung pro Count an der Tool-Spitze = 3,835µm
18.3.5.6 Motor-6(F) = Flip-Z (Pick-up) Motor-8(H) = Flip-X (Hand-over)
3-Phasen Linearmotor mit Hallsensoren-120°, Typ ETEL TILS03-030-0018-CNN-20B
●
Maximal Hub = 12mm
●
Maximale Beschleunigung = 200 m/s²
●
Maximale Geschwindigkeit = 1,3 m/s
●
Maximale Leistung (Peak-force) = 19,9 N
●
Maximaler Strom Imax = 3,1 Aeff
●
Anschlusswiderstand = 4,1 Ohm
Linear-Encoder, Typ RSF-Elektronik MS-100VHS
●
Ausgangssignal RS422 = 5V Differenzial mit Index-Spur. A,B,I
●
Pulse Abstand = 2µm/cp, entspricht 0,5µm/Count
●
Index-Signal I = 1mm vor oberen mechanischen Anschlag
18 Anhang
18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung
492 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
18.3.5.7 Motor-7(G) = Rotate Die-Attach
Bürstenloser Servomotor mit Hallsensoren-120°, Typ MSSI 032H-017E-048F
●
Maximales Drehmoment Mmax = 5,1 Ncm
●
Maximaler Strom Imax = 0,3 Aeff
●
Nenndrehzahl n = 2200 U/min
●
Anschlusswiderstand = 104 Ohm
Shaft-Encoder, Typ SCANCON-2RMHF-7500
●
Ausgangssignal RS422 = 5V Differenzial-Signale mit Index-Spur A,B,I
●
Pulse pro Umdrehung = 7500-cpr, entspricht 30000-Count
●
Auflösung pro Count an der Tool-Spitze = 5,867 µm
18.3.5.8 Motor-9(A) = Wafer-Magazin-Lift
Bürstenloser Servomotor mit Hallsensoren-120°, Typ MSSI 055H-030E-048F
●
Maximales Drehmoment Mmax = 1,6 Nm
●
Maximaler Strom Imax = 8,0 Aeff
●
Nenndrehzahl n = 2350 U/min
●
Anschlusswiderstand = 3,2 Ohm
Shaft-Encoder, Typ HP - HEDL-5540
●
Ausgangssignal RS422 = 5V Differenzial-Signale mit Index-Spur A,B,I
●
Pulse pro Umdrehung = 500-cpr, entspricht 2000-Count
●
Spindelsteigung Magazin-Lift = 5mm/Umdrehung
●
Auflösung pro Count = 2,5 µm
18.3.5.9 Motor-10(B) = Wafer-Handler
Bürstenloser Servomotor mit Hallsensoren-120°, Typ MSSI 040H-017E-048F
●
Maximales Drehmoment Mmax = 51,1 Ncm
●
Maximaler Strom Imax = 6,0 Aeff
●
Nenndrehzahl n = 5300 U/min
●
Anschlusswiderstand = 3,7 Ohm
Shaft-Encoder, Typ HP - HEDL-5540
●
Ausgangssignal RS422 = 5V Differenzial-Signale mit Index-Spur A,B,I
●
Pulse pro Umdrehung = 500-cpr, entspricht 2000-Count
●
Mechanische Übersetzung = 38mm/Umdrehung
●
Auflösung pro Count = 19 µm
18.3.6 Limit/Home-Sensoren mit Initialisierung
18.3.6.1 Initialisierungsablauf für Wafertisch - X/Y MOT1(A) MOT2(B)
Die X/Y-Achsen des Wafertisches haben ca. 5mm vor dem mechanischen Endanschlag die Limit-
Sensoren, die einen Hardware-Motorstop auslösen.
Achse "MOT-WX": Motorstop nach links = Sensor "FL1", Motorstop nach rechts = Sensor "RL1".
Achse "MOT-WY": Motorstop nach vorne = Sensor "FL2", Motorstop nach hinten = Sensor "RL2".
Die Initialisierung der X/Y-Motoren erfolgt über die Home-Sensoren "HM1" und "HM2".
Die Schaltpositionen der Sensoren sind in der Mitte vom Wafertisch, welches auch die Mitte der
Die-Ejector Position ist.
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18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 493
Das Home-Signal "HM1" ist links der Mitte +24V und rechts der Mitte 0V.
Das Home-Signal "HM2" ist vor der Mitte +24V und hinter der Mitte 0V.
Mit dieser Selektierung der Home-Signale initialisieren die X/Y-Motoren in die Mitte und anschlie-
ßend werden die Encoder Index-Signale gesucht.
Mit den Index-Signalen der Encoder werden die Counter der X/Y-Achsen aktualisiert für die Kreis-
berechnung. Mit der Kreisberechnung wird das Softwarelimit ermittelt.
18.3.6.2 Initialisierungsablauf für Die-Ejector-Needle MOT4(D)
Die Die-Ejector-Needle Achse hat einen Hub von 5mm und ist mit der Limit-Sensor-Platine "DUAL-
LB" begrenzt.
Mit den aufgesetzten Lichtschranken "FL4" (obere-Position) und "RL4" (untere-Position) wird der
Motor gestoppt.
Die Initialisierung des Motors erfolgt nach unten zu den Sensor "RL4". Anschließend wird die Enco-
der-Index-Spur nach oben gesucht.
Ist die Index-Spur gefunden, wird der Counter der Achse MOT4(D) aktualisiert.
Die Index-Spur des Encoders wird in der Vormontage grob eingestellt, sodass die Index-Spur ca.
700‑900µm vom Sensor "RL4" entfernt ist.
Bei grober Fehleinstellung kann die Nadel bei der Initialisierung aus der Die-Ejector-Kappe ragen.
18.3.6.3 Initialisierungsablauf für Flip-Rotor MOT5(E)
Das Szenario der Initialisierung des Flip-Tool-Unit mit den drei Motoren Tool-Rotor, Flip-Z und Flip-
X (=Optionale Die-Attach-Unit) erfolgt hintereinander. Als erstes wird der Flip-Rotor initialisiert.
Dabei sind die Linearmotoren Flip-Z und Flip-X ausgeschaltet und werden über pneumatische Zy-
linder in der Parkposition gehalten, sodass die Kulisse für den Flip-Rotor geschlossen ist.
Der Flip-Rotor (180°-Bewegung vor/zurück) wird eingeschaltet und sucht den Home-Sensor "HO5".
Der Home-Sensor sitzt an der oberen Flip-Rotor-Position, um ca. 10° vorgelagert.
Anschließend wird die Index-Spur des Encoders im Uhrzeigersinn gesucht, die 15° von der oberen
Tool-Rotor-Position vorgelagert ist.
Der Counter des Flip-Rotors wird aktualisiert und der Motor fährt anschließend in die Parkposition,
damit anschließend die Motoren Flip-Z und Flip-X frei initialisieren können.
18.3.6.4 Initialisierungsablauf für Flip-Z (Pick-up) MOT6(F)
Nachdem die Initialisierung des Flip-Rotors abgeschlossen ist, können die Motoren Flip-Z (Pickup)
und Flip-X (Hand-over) gleichzeitig initialisiert werden.
Der Flip-Z-Linearmotor wird im ausgeschalteten Zustand mittels Rückhol-Zylinder in der oberen
Parkposition gehalten.
Der Flip-Z-Motor wird mit Strom versorgt, anschließend wird der Rückhol-Zylinder (Set OUT13 on)
nach unten ausgefahren, so dass der Verfahrhub nach unten frei ist.
Mit dem anschließend geschalteten Home-Sensor "HO6" (Signal = 24V) erfolgt die Freigabe für
die Initialisierung.
Der Linearmotor sucht die Index-Spur nach oben, diese sitzt ca. 0,5mm unterhalb des oberen me-
chanischen Anschlages.
Ist die Index-Spur gefunden, dann wird der Counter der Achse MOT6(F) aktualisiert und der Motor
fährt in die gespeicherte Parkposition.
Bei Not-Aus-Funktion
Wird Not-Aus gedrückt, ist anschließend der Motor stromlos und der Rückhol-Zylinder wird gleich-
zeitig über K1 (Signal OUT13 wird unterbrochen) ausgeschaltet.
Der gefederte Rückhol-Zylinder fährt nach oben und der Flip-Z-Motor, gekoppelt mit dem Flip-Tool,
wird in der eingestellten Parkposition gehalten.