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12 Wafer-Stretcher 12.4 Ausbau Wafer-Stretcher 292 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 12.4.4 Demontage an Wafer-Wechsler-Seite Abb.402: ► Schieben Sie den Wafer-Stretcher auf die andere Seite. Achten Si…

12 Wafer-Stretcher

12.4 Ausbau Wafer-Stretcher

Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 291

Abb.400:

► Markieren Sie die Lage der Spindelmutter z.B. mit einem Stift (1).

► Halten Sie die Spindelmutter fest (1) und drehen Sie die Spindel (2), so dass sich die Spindel-

mutter vom Mitnehmerblock des Wafertisches löst.

ODER

► Schieben Sie den Wafer-Stretcher mit der Hand von der Spindelmutter weg (3).

ð Nun sollte zwischen Spindelmutter und dem Mitnehmerblock ein Abstand sein.

Abb.401:

► Entfernen Sie die beiden Sechskant-Schrauben (1) mit einem Gabelschlüssel oder einer Rat-

sche.

ð Der Mitnehmerblock ist nun vom Wafertisch getrennt.

12 Wafer-Stretcher

12.4 Ausbau Wafer-Stretcher

292 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018

12.4.4 Demontage an Wafer-Wechsler-Seite

Abb.402:

► Schieben Sie den Wafer-Stretcher auf die andere Seite.

Achten Sie dabei auf Die-Ejector und Wafer-Wechsler (Greifer).

Abb.403:

► Schieben Sie den Wafer-Stretcher bis zum Ende.

► Entfernen Sie die sechs Befestigungsschrauben des Abdeckbleches (1).

► Nehmen Sie das Abdeckblech ab.

Folgende Verbindungen müssen wie folgt gelöst werden:

12 Wafer-Stretcher

12.4 Ausbau Wafer-Stretcher

Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 293

Abb.404:

Abb.405:

► Ziehen Sie den Steckers X11 (1) ab.

► Ziehen Sie die Druckluftleitung (2) ab.

Abb.406:

► Schrauben Sie die Masseverbindung (3) ab.

► Demontieren Sie die Energiekette (4) → verdeckt.

► Eventuell müssen noch diverse Kabelbinder geöffnet werden, um die Verbindungen sauber

lösen zu können.