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12 Wafer-Stretcher 12.6 Einbau Wafer-Stretcher 306 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 ► Verbinden Sie den Stecker X11. Abb.431: ► Montieren Sie das Abdeckblech mit den sechs Schrauben. Verlegen Sie den …
12 Wafer-Stretcher
12.6 Einbau Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 305
Abb.428:
► Montieren Sie den Anwesenheitssensor mit der Inbus-Senkschraube an die dafür vorgesehe-
ne Stelle (1).
Achten Sie auf die Sensorausrichtung nach oben (2) (siehe Bild).
Die Montage erfolgt parallel zu den Kanten.
Abb.429:
► Montieren Sie den Kabelkanal mit den zwei Flachkopf-Linsenschrauben.
Abb.430:
► Verbinden Sie die Masseleitung.
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12.6 Einbau Wafer-Stretcher
306 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
► Verbinden Sie den Stecker X11.
Abb.431:
► Montieren Sie das Abdeckblech mit den sechs Schrauben.
Verlegen Sie den Pneumatikanschluss wie im Bild zu sehen.
12.6.4 Montage Abdeckblech und Niederhaltebleche
Abb.432:
► Positionieren Sie den Wafer-Stretcher zur Waferlift-Seite hin.
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 307
Abb.433:
► Montieren Sie das Abdeckblech mit den vier Kreuzschlitz-Schrauben (1) bis (4) und der Inbus-
schraube am Klemmzylinder (5).
Abb.434:
► Montieren Sie nun das linke (3) und das rechte Niederhalteblech (4) mit den jeweils vier
Schrauben inklusive der konischen Fixierscheibe.
Ziehen Sie die Schrauben zunächst nur leicht an.
► Richten Sie die Niederhaltebleche aus.
Ziehen Sie die Schrauben wie folgt an: