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15 Kalibrierung 15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 411 Abb.592: ► Verfahren Sie den Wafertisch manuell, bis dieser (2) über dem Wafer-Heater zentriert ist…

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15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
410 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.590:
HINWEIS
Stellen Sie vor allem für große Wafer (12") sicher, dass der Wafer-Rahmen (2) rechtwinklig
im Wafer-Magazin ausgerichtet ist.
Andernfalls berühren die Kanten des Wafer-Rahmens (2) diagonal die Kanten der Wafer-
Schienen (1) und der Wafer kann nicht heraus gefahren werden.
Wafer-Rahmen (2) und Wafer-Schiene (1) sollten parallel sein!
Ausrichtung der Position des Wafer-Heater (optional nur mit installiertem Stretcher)
KEINE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus ist nicht aktiviert!
Maschinenhauben sind geschlossen!
Abb.591:
► Wählen Sie Go to Position, um den Wafertisch an die geschätzte Position des Wafer-Hea-
ters zu verfahren.
► Aktivieren Sie den Not-Aus, indem Sie die Maschinenverkleidungen der CA-Maschine öffnen!
ð Alle Achsen des SWS sind stromlos.
15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 411
Abb.592:
► Verfahren Sie den Wafertisch manuell, bis dieser (2) über dem Wafer-Heater zentriert ist (1).
Unser Beispiel dient nur zu Demonstrationszwecken. Normalerweise ist bei einem installierten
Wafer-Heater anstelle der Schutzabdeckung (1) eine Stretch-Einheit am Wafertisch montiert.
Abb.593:
► Wählen Sie Save.
15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
412 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
15.4.3 Menü Wafer-Wechsel-Kalibrierung
Um das Kalibrierungsmenü aufzurufen, wählen Sie Calibration of wafer changer.
Abb.594:
Wafer-Wechsel-Kalibrierung
HOHE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus muss aktiviert sein!
Als Vorbedingung für diese Kalibrierung muss die Wafer-Übergabeposition korrekt eingestellt sein
(siehe 15.4.1.3 "Wafer-Übergabeposition des Magazins in Bezug auf den Wafertisch kalibrie-
ren" [}400]).
Mit dieser Kalibrierung werden der Wafer-Wechsel-Nullpunkt und die Endpunkte der Wafer-Wech-
sel-Achse kalibriert.
Halten Sie die im Folgenden gezeigte Kalibrierreihenfolge ein:
Abb.595:
► Wählen Sie Prepare zero point calibration
Dadurch wird die Stromversorgung der Wafer-Wechsel-Achse initialisiert und dann ausge-
schaltet. So kann der Wafer-Wechsler bewegt werden.